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冷却方式
自然空冷 強制空冷
吸気口側フランジ *1
VG100,ICF152,ISO100-K *1 ご注文時にVG100,ICF152,ISO100-Kから選択ください。
排気口側フランジ
KF16
排気速度 (保護ネット無し時)
N2:280 L/s He:270 L/s H2:220 L/s
到達圧力 (2段式補助ポンプ使用時) ベーキング後
自然空冷:*2 強制空冷:10^-8Pa *2 ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。
到達圧力 (2段式補助ポンプ使用時) ベーキング前
自然空冷:10^-6Pa 強制空冷:10^-6Pa
最大圧縮比
N2:>1×10^9,He:7×10^6,H2:1×10^5
最大吸気口圧力
自然空冷:0.06Pa 強制空冷:0.7Pa
最大排気口圧力
自然空冷:100Pa 強制空冷:1,000Pa
連続運転最大流量 ガスパージ無 N2
自然空冷:10sccm 強制空冷:100sccm
連続運転最大流量 ガスパージ無 Ar
強制空冷:30sccm
連続運転最大流量 ガスパージ有 Ar
強制空冷:40sccm
推奨補助ポンプ (10SCCM吸引時) *8
120L/min以上 *8 ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助 ポンプを選定ください。
質量 VG,ISO/ICF
自然空冷:6kg/9kg 強制空冷:6.3kg/9.3kg
回転数
60,000rpm
起動時間 (80%まで)
3.5分 (DC24V 背圧5Pa以下時)
表面処理 *9
無し *9 反応性ガス、腐食性ガス、Gaを含むガスを流さないでください。その他のガスについてはお問い合わせください。
取り付け方向
全方位
騒音 *10
50dB (A) 未満 *10 ISOフランジタイプ。当社測定法による。
型番
UTM300B取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 冷却方式 | 吸気口側フランジ *1 | 排気口側フランジ | 排気速度 (保護ネット無し時) | 到達圧力 (2段式補助ポンプ使用時) ベーキング後 | 到達圧力 (2段式補助ポンプ使用時) ベーキング前 | 最大圧縮比 | 最大吸気口圧力 | 最大排気口圧力 | 連続運転最大流量 ガスパージ無 N2 | 連続運転最大流量 ガスパージ無 Ar | 連続運転最大流量 ガスパージ有 Ar | 推奨補助ポンプ (10SCCM吸引時) *8 | 質量 VG,ISO/ICF | 回転数 | 起動時間 (80%まで) | 表面処理 *9 | 取り付け方向 | 騒音 *10 | 標準付属品 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり |
自然空冷 強制空冷 |
VG100,ICF152,ISO100-K *1 ご注文時にVG100,ICF152,ISO100-Kから選択ください。 |
KF16 |
N2:280 L/s He:270 L/s H2:220 L/s |
自然空冷:*2 強制空冷:10^-8Pa *2 ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。 |
自然空冷:10^-6Pa 強制空冷:10^-6Pa |
N2:>1×10^9,He:7×10^6,H2:1×10^5 |
自然空冷:0.06Pa 強制空冷:0.7Pa |
自然空冷:100Pa 強制空冷:1,000Pa |
自然空冷:10sccm 強制空冷:100sccm |
強制空冷:30sccm | 強制空冷:40sccm |
120L/min以上 *8 ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助 ポンプを選定ください。 |
自然空冷:6kg/9kg 強制空冷:6.3kg/9.3kg |
60,000rpm |
3.5分 (DC24V 背圧5Pa以下時) |
無し *9 反応性ガス、腐食性ガス、Gaを含むガスを流さないでください。その他のガスについてはお問い合わせください。 |
全方位 |
50dB (A) 未満 *10 ISOフランジタイプ。当社測定法による。 |
取扱説明書 (和英併記) 、保護ネットキャップ (VG,ICFのみ、ISOフランジはガスケットに組み込み) 、 |
真空ポンプをフィルターから探すことができます
使用用途
#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装到達真空度 Pa
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000排気速度 L/min
0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000モータ出力 kW
0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150質量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000騒音値 dB(A)
40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85電源電圧 V
0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500
