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有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

254.6時間

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使用用途

研究開発

基板サイズ (MAX)

□100mm

装置形態

独立チャンバー 連結型

システム構成

前処理→ホール層→発光層→電子輸送層→電極層→封止 (手動)

この製品について

■概要

アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。

■用途

有機ELディスプレイ、有機EL照明

■特徴

SOLCIETは、前処理室、有機成膜室、電極成膜室および中間室、グローブボックスといった独立した部屋構成を持っており、材料評価からデバイス特性評価まで行なえる実験システムです。各種蒸発源はもとよりスパッタカソード等の豊富なオプションも用意し実験ユースの幅を広げます。対応基板サイズは、□100mmを標準としています。 SATELLA は、各プロセス室を独立させたマルチチャンバースタイルとし、SOLCIETでは困難であった、フルカラーデバイス評価を可能としています。8角形の搬送室を有し、ニーズに合わせ有機成膜室を2〜4室まで対応できます。また、高精細マスク合わせ機構を搭載しアクティブマトリックスフルカラーデバイスにも対応しております。対応基板サイズは、□200mmを標準としています。 ZELDAシリーズは、量産に対応したシステムです。新開発の蒸発源を盛り込むなど豊富なアプリケーションを用意しております。対応基板サイズは、G2以上対応可能です。

  • 型番

    SOLCIET

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有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ SOLCIETの性能表

商品画像 価格 (税抜) 使用用途 基板サイズ (MAX) 装置形態 システム構成
有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ-品番-SOLCIET 要見積もり 研究開発 □100mm 独立チャンバー
連結型
前処理→ホール層→発光層→電子輸送層→電極層→封止 (手動)

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使用用途

#半導体製造 #光学部品製造 #太陽電池製造 #ディスプレイ製造 #電池材料開発 #センサ開発 #薄膜トランジスタ開発 #表面改質 #機能性材料研究 #MEMS製造 #医療機器製造 #材料評価

到達圧力 Pa

0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10

基板サイズ mm

25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650

設置面積 m²

1 - 5 5 - 10 10 - 20

所要電力 kVA

10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35

真空槽 mm

500 - 800 800 - 1,000

基板バイアス V

0 - 5,000 5,000 - 25,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

254.6時間

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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