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供給ワークサイズ
ダイシングフレーム8インチ、12インチ用
供給ワークカセットローダ
ダイシングフレームカセット/ロードポート
支持体収納アンローダ
OPENカセット式アンローダ
EFEM
ロボット、 アライナ搭載
機械剥離
1ユニット搭載可能
洗浄機構
最大2ユニット搭載可能
型番
TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 供給ワークサイズ | 供給ワークカセットローダ | 支持体収納アンローダ | EFEM | 機械剥離 | 洗浄機構 |
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要見積もり | ダイシングフレーム8インチ、12インチ用 | ダイシングフレームカセット/ロードポート | OPENカセット式アンローダ | ロボット、 アライナ搭載 | 1ユニット搭載可能 | 最大2ユニット搭載可能 |
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使用用途
#パッケージ検査 #ウエハ検査 #マスク検査 #回路パターン検査 #表面欠陥検査 #接合部検査 #絶縁特性評価 #信頼性評価 #材料評価 #電気特性測定 #故障解析 #オンライン検査処理能力 秒/個
0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 3電源 V
0 - 100 100 - 200 200 - 250分解能 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 30 30 - 50供給方式
トレー スティック パーツフィーダ コンベア マガジンローダ ダイシングフレームカセット ウエハリング テープフィーダコンタクト
テストヘッド対応 ケルビンコンタクト ソケット ソケットボード プローブピン
