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ECSx3030/StSt/NUM/UHV取扱企業
株式会社日本レーザーカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年3月27日にレビュー済み
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早速のWeb会議開催のご案内を頂き、迅速な対応であった。
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精密ステージの製品437点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | タイプ | 軸 | 耐荷重 | 可動量 | 温度 | 真空度 | エンコーダ |
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要見積もり | リニア | 水平 | 9,000g | 20mm | 0 .. 100℃ | 5E-11mbar | 1 nm |
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使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置駆動方式
手動型 電動型 空圧型軸構成
単軸型 二軸型 三軸型 回転型ガイド方式
クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型精度特性
高精度型 長ストローク型 高剛性型アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング
