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・半導体やFPD製造装備の上部、側面に装着 ・装備の圧力(+)維持、クリーン空気を供給、装備内の清浄環境維持 ・Stocker, Process equipment, FAB Automation System, Mini Environmentに適用可能
型番
Equipment Fan Filter Unit (EFU)取扱企業
株式会社世奉カテゴリ
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