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ウェット処理装置 (FOPLP向け)-株式会社SCREENフェバックス

全型番で同じ値の指標

Panel

Glass,mold,CCL

Panel Size

~W2,200×L2,500mm,TBD

EQ configuration

I-Line /I-Turn /U-Turn

Processing method

Spray/Dip/Paddle

Chemical

Al/Mo/Cu/ITO Etchant TMAH/Na2CO3 Resist stripping agent DIW / Alkali Cleaner

Tact

TBD*depend on process condhitions

この製品について

FPD業界で世界NO.1のシェアを持つSCREEN Finetechの現像機を含むWET装置を「Fan Out Panel Level Package」向けに展開。

  • 型番

    NE Series (Etcher)

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ウェット処理装置 (FOPLP向け) NE Series (Etcher) の性能表

商品画像 価格 (税抜) Panel Panel Size EQ configuration Processing method Chemical Tact
ウェット処理装置 (FOPLP向け)-品番-NE Series (Etcher) 要見積もり Glass,mold,CCL ~W2,200×L2,500mm,TBD I-Line /I-Turn /U-Turn Spray/Dip/Paddle Al/Mo/Cu/ITO Etchant TMAH/Na2CO3
Resist stripping agent DIW / Alkali Cleaner
TBD*depend on process condhitions

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ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

フェバックス(Febacs)の社名の由来は、
FPD Equipment Before service After service Customer Supportの頭文字をつなぎ合わせたものです。

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  • 本社所在地: 滋賀県

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