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返答率
100.0%
返答時間
142.6時間
~300mmウエハ用標準モデル:電力線通信技術を搭載した弊社標準ロボット ■特長 ・電力線通信技術を搭載している標準モデル ・多彩なオプションをラインアップ
クリーン度
ロボット形状
動作範囲 Z-axis
最大動作速度 X1, X2-axis
最大動作速度 Z-axis
動作時間 X1, X2-axis
動作時間 Z-axis
繰返し位置精度 XY direction
設置環境 温度
繰返し位置精度 Z direction
型番
UT-AFX/W3000NM取扱企業
株式会社ダイヘンカテゴリ
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モバイルロボットの製品56点中、注目ランキング上位6点
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返答率96%
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商品画像 | 価格 (税抜) | 可搬重量 | 本体質量 | クリーン度 | ロボット形状 | 動作範囲 X1, X2-axis | 動作範囲 θ-axis | 動作範囲 Z-axis | 最大動作速度 X1, X2-axis | 最大動作速度 θ-axis | 最大動作速度 Z-axis | 動作時間 X1, X2-axis | 動作時間 θ-axis | 動作時間 Z-axis | 繰返し位置精度 XY direction | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 | 必要諸源 真空 | 必要諸源 |
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要見積もり | 1.0kg/arm (ハンドを含む) (Including E/E) | 30kg | ISO Class 1 (ISO-14644) | 3-axis Cylindrical Coordinate | 500mm | 340° | 300mm or 450mm | 1,000mm/sec | 200°/sec. | 250mm/sec. | 1.0sec/500mm | 2.2sec./340° | 1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm |
XYZ方向:各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
5-45℃ | 20-70% (結露なきこと)(No condensation) | -80kPaG or less, 10NL/min | -80kPaG or less, 10NL/min |
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最大搭載重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 150 150 - 1,300本体重量 kg
10 - 40 40 - 60 60 - 80 80 - 100 100 - 200 200 - 300走行速度 m/s
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 1.5 1.5 - 2バッテリー駆動時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 30充電時間 時間
3 - 4 4 - 5トレイ数 個
0 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 7連続稼働時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30必要通路幅 cm
50 - 75 75 - 100 100 - 120 120 - 140