UT-AFW4000NM | ロボット・制御装置 多様なニーズに応える最先端のラインアップ ウェハ搬送ロボット
株式会社ダイヘン
価格 (税抜)
株式会社ダイヘンの対応状況
返答率
100.0%
型番説明
～300mmウエハ用高可搬モデル：高可搬搬送と広範囲動作が可能な標準ロボット ■特長 ・サーボアンプを内蔵し、高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数及び外配ケーブル本数を大幅に削減。 ・高可搬搬送 (ハンドフォルダ、ハンド、搬送ワークの総質量4kg) を可能としたため、反転軸搭載が可能。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、レチクル搬送が可能。 ・ワーク把持は、真空吸着方式に加え、圧空を使用したエッジクランプ方式とベルヌーイ方式に対応可能。 ・ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。
型番フィルター
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クリーン度
可搬重量
本体質量
構造
軸数
ロボット形状
動作時間 X1, X2-axis
動作時間 Z-axis
動作時間 θ-axis
動作範囲 X1, X2-axis
動作範囲 Z-axis
動作範囲 θ-axis
可搬質量
最大動作速度 X1, X2-axis
最大動作速度 Z-axis
最大動作速度 θ-axis
繰返し位置精度 XY direction
設置環境 圧力
設置環境 温度
設置環境 湿度
分類
必要諸源 真空
繰返し位置精度 Z direction
動作範囲 R-axis
必要諸源
最大動作速度 R-axis
-
型番
UT-AFW4000NM
-
取扱企業
株式会社ダイヘン
搬送ロボット注目ランキング
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ロボット・制御装置 多様なニーズに応える最先端のラインアップ ウェハ搬送ロボット UT-AFW4000NMの性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | クリーン度 | ロボット形状 | 分類 | 動作時間 X1, X2-axis | 動作時間 Z-axis | 動作時間 θ-axis | 動作範囲 R-axis | 動作範囲 X1, X2-axis | 動作範囲 Z-axis | 動作範囲 θ-axis | 必要諸源 | 最大動作速度 R-axis | 最大動作速度 X1, X2-axis | 最大動作速度 Z-axis | 最大動作速度 θ-axis | 本体質量 | 繰返し位置精度 XY direction | 繰返し位置精度 Z direction | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり |
クランプ仕様：ISO Class 3 (ISO-14644) 吸着仕様：ISO Class 1 (ISO14644) |
4軸円筒座標型：4axis Cylindrical Coordinate | High Payload Type | 1.7sec./500mm | 2.2sec./450mm | 2.2sec./340° | 182° | 500mm | 300mm or 450mm | 340° | 0.4-0.7MPa, 200L/min | 180°/sec. | 800mm/sec. | 250mm/sec. | 200°/sec. | 4kg/8N･m | 1.7sec./180° | XYZ±0.1mm, R±0.1° | 0-40℃ | 70% or less, No condensation |
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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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