UT-VDW3000HS | ロボット・制御装置 多様なニーズに応える最先端のラインアップ ウェハ搬送ロボット
株式会社ダイヘン
価格 (税抜)
株式会社ダイヘンの対応状況
返答率
100.0%
型番説明
～300mmウエハ用：世界最速級 (650WPH) の真空内高速搬送により、装置スループットの大幅な向上に貢献する高速・低振動ダブルアーム真空ロボット ■特長 ・世界最速級 (650WPH) の真空内高速搬送を実現 ・ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ・アーム部にスチールベルトを採用し軌跡精度と位置決め精度の向上 ・ハンド上に高摩擦パッドを採用しウエハ搬送ずれ防止 ・ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
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クリーン度
可搬重量
本体質量
構造
軸数
ロボット形状
動作時間 X1, X2-axis
動作時間 Z-axis
動作時間 θ-axis
動作範囲 X1, X2-axis
動作範囲 Z-axis
動作範囲 θ-axis
可搬質量
最大動作速度 X1, X2-axis
最大動作速度 Z-axis
最大動作速度 θ-axis
繰返し位置精度 XY direction
設置環境 圧力
設置環境 温度
設置環境 湿度
分類
必要諸源 真空
繰返し位置精度 Z direction
動作範囲 R-axis
必要諸源
最大動作速度 R-axis
-
型番
UT-VDW3000HS
-
取扱企業
株式会社ダイヘン
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ロボット・制御装置 多様なニーズに応える最先端のラインアップ ウェハ搬送ロボット UT-VDW3000HSの性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | クリーン度 | ロボット形状 | 動作時間 X1, X2-axis | 動作時間 Z-axis | 動作時間 θ-axis | 動作範囲 X1, X2-axis | 動作範囲 Z-axis | 動作範囲 θ-axis | 可搬質量 | 最大動作速度 X1, X2-axis | 最大動作速度 Z-axis | 最大動作速度 θ-axis | 本体質量 | 繰返し位置精度 XY direction | 設置環境 圧力 | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | ISO Class 1 | 4軸円筒座標型: 4 axis Cylindrical Coordinate | 0.6sec./620mm | 0.25sec./20mm | 0.7sec./90° | 620mm | 50mm | 346° | 2kg | 380°/sec. | 185mm/sec. | 300°/sec. | 160kg | XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) | Atmospheric pressure ~ 10-6Pa | 5-40℃ (本体) /5-80℃ (アーム表面) | 20-70%, No condensation |
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