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返答率
100.0%
返答時間
158.1時間
～300mmウエハ用：アーム長、Z軸の有無が選択可能なシングルアーム真空ロボット ■特長 2種類のアーム長に標準対応、Z軸の有無も選択でき、様々な装置レイアウトに対応
クリーン度
ロボット形状
動作範囲 Z-axis
最大動作速度 X1, X2-axis
最大動作速度 Z-axis
動作時間 X1, X2-axis
動作時間 Z-axis
繰返し位置精度 XY direction
設置環境 温度
繰返し位置精度 Z direction
型番
UT-VFX3000NM取扱企業
株式会社ダイヘンカテゴリ
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モバイルロボットの製品57点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 分類 | 本体質量 | クリーン度 | ロボット形状 | 動作範囲 X1, X2-axis | 動作範囲 θ-axis | 動作範囲 Z-axis | 最大動作速度 X1, X2-axis | 最大動作速度 θ-axis | 最大動作速度 Z-axis | 動作時間 X1, X2-axis | 動作時間 θ-axis | 動作時間 Z-axis | 繰返し位置精度 XY direction | 可搬質量 | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 | 設置環境 圧力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | Standard Type | 29kg (35kg) | ISO Class 1 (ISO-14644) | 2 (3) 軸円筒座標形 2 (3) axis Cylindrical Coordinate | 510mm | 340° | 20mm | 948mm/sec. | 200°/sec. | 121mm/sec. | 1.2sec./510mm | 2.4sec./340° | 1.0sec./20mm | XYZ direction ±0.1mm each | 0.7kg (ハンド質量を含む Including E/E) | 10-40℃ (Atmosphere side) /0-80℃ (Vacuum Seal Unit) | 20-70%, No condensation | Atmospheric pressure ~ 10-6Pa |
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最大搭載重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 150 150 - 1,300本体重量 kg
10 - 40 40 - 60 60 - 80 80 - 100 100 - 200 200 - 300走行速度 m/s
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 1.5 1.5 - 2バッテリー駆動時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 30充電時間 時間
3 - 4 4 - 5トレイ数 個
0 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 7連続稼働時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30必要通路幅 cm
50 - 75 75 - 100 100 - 120 120 - 140
