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返答率
100.0%
返答時間
158.1時間
～300mmウエハ用：ダイレクトドライブモータを搭載し、振動を大幅に低減した高精度シングルアーム真空ロボット ■特長 ・真空環境用 ・ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ・隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下に対応 ・旋回軸エンドレス仕様により、装置スループット改善に貢献 ・コントローラ内蔵により、装置の小型化に貢献 ・ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
クリーン度
ロボット形状
動作範囲 Z-axis
最大動作速度 X1, X2-axis
最大動作速度 Z-axis
動作時間 X1, X2-axis
動作時間 Z-axis
繰返し位置精度 XY direction
設置環境 温度
繰返し位置精度 Z direction
型番
UT-VDX3000NS取扱企業
株式会社ダイヘンカテゴリ
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モバイルロボットの製品57点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 本体質量 | クリーン度 | ロボット形状 | 動作範囲 X1, X2-axis | 動作範囲 θ-axis | 動作時間 X1, X2-axis | 動作時間 θ-axis | 繰返し位置精度 XY direction | 可搬質量 | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 | 設置環境 圧力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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|
要見積もり | 29KG | ISO Class 1 | 2軸円筒座標型：2 axis Cylindrical Coordinate | 850mm | Endless | 2.0sec / 850mm | 2.5sec / 180° | φ0.02mm (3σ) | 1.0kg | 5-40℃ (本体) /5-80℃ (アーム) | 20-70%, No condensation | Atmospheric pressure ~ 10-7Pa |
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最大搭載重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 150 150 - 1,300本体重量 kg
10 - 40 40 - 60 60 - 80 80 - 100 100 - 200 200 - 300走行速度 m/s
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 1.5 1.5 - 2バッテリー駆動時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 20 20 - 30充電時間 時間
3 - 4 4 - 5トレイ数 個
0 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 7連続稼働時間 時間
0 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30必要通路幅 cm
50 - 75 75 - 100 100 - 120 120 - 140
