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返答率
100.0%
返答時間
20.4時間
移動範囲
102×102mm
統合センサー
インクリメンタルリニアエンコーダ
設計解像度
0.001μm
センサー信号
Sin/cos、1Vピーク-ピーク、20μm信号周期
最小増分動作
0.02μm
一方向の再現性
0.1μm
双方向再現性
±0.25μm
角度誤差 xry (ピッチ)
±40μrad
角度誤差 xrz (ヨー)
±20μrad
角度誤差 yrx (ピッチ)
±40μrad
角度誤差 yrz (ヨー)
±20μrad
真直度・平面度
±2μm
直交性
±96.963μrad
速度
500mm/s
無負荷時の X、Y 方向の加速度
10m/s²
リファレンススイッチとリミットスイッチ
二股光電センサー N/C接点 5V NPN
負荷容量
100N
許容トルク θX、θY
130Nm
θ Zの許容トルク
90Nm
ガイド
循環ボールベアリングガイド
モーターの種類
鉄筋レス三相リニアモーター
動作電圧、公称
48V
動作電圧、最大
48V
ピークフォース
200N
公称力
87N
ピーク電流、RMS
15a
公称電流、RMS
4.4a
モーター定数
71N/√W
電気時定数
0.4MS
抵抗相間
3.6Ω
型番
V-738.056111シリーズ
V-738 高精度XYステージ 開口付取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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精密ステージの製品433点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 移動範囲 | 統合センサー | 設計解像度 | センサー信号 | 最小増分動作 | 一方向の再現性 | 双方向再現性 | 角度誤差 xry (ピッチ) | 角度誤差 xrz (ヨー) | 角度誤差 yrx (ピッチ) | 角度誤差 yrz (ヨー) | 真直度・平面度 | 直交性 | 速度 | 無負荷時の X、Y 方向の加速度 | リファレンススイッチとリミットスイッチ | 負荷容量 | 許容トルク θX、θY | θ Zの許容トルク | ガイド | モーターの種類 | 動作電圧、公称 | 動作電圧、最大 | ピークフォース | 公称力 | ピーク電流、RMS | 公称電流、RMS | モーター定数 | 電気時定数 | 抵抗相間 |
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![]() |
要見積もり | 102×102mm | インクリメンタルリニアエンコーダ | 0.001μm | Sin/cos、1Vピーク-ピーク、20μm信号周期 | 0.02μm | 0.1μm | ±0.25μm | ±40μrad | ±20μrad | ±40μrad | ±20μrad | ±2μm | ±96.963μrad | 500mm/s | 10m/s² | 二股光電センサー N/C接点 5V NPN | 100N | 130Nm | 90Nm | 循環ボールベアリングガイド | 鉄筋レス三相リニアモーター | 48V | 48V | 200N | 87N | 15a | 4.4a | 71N/√W | 0.4MS | 3.6Ω |
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使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング