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P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X方向の移動範囲、開ループ

Y方向の移動範囲、開ループ

ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

X方向の解像度、開ループ

Y方向の解像度、開ループ

短期最大動作周波数

Xの共振周波数、100gの荷重下

Xの共振周波数、50gの荷重下

X方向の共振周波数、無負荷

Y方向の共振周波数、100gの荷重下

Y方向の共振周波数、50gの荷重下

X方向の移動範囲

Y方向の移動範囲

Xでのシステム解像度

Y単位のシステム解像度

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

XY

ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)

±3μrad

ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)

±3μrad

ドライブタイプ

ピクマ®

ガイド

レバー増幅機能付きたわみガイド

Xの直線性誤差

0.02%

Yの直線性誤差

0.02%

統合センサー

静電容量式の直接位置測定

Xにおける双方向の再現性

±2nm

Y方向の双方向再現性

±2nm

この製品について

■特徴

・移動範囲50~1,800µm ・0.1nmまでの分解能 ・位置決め精度 0.02% ・静電容量センサーによる直接位置測定 ・X、XY、Z、XYZバージョン

■応用分野

・干渉計 ・顕微鏡検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・試験手順と品質保証 ・フォトニクス ・ファイバーの位置決め ・半導体技術

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

・特許取得済みのPICMA®ピエゾ アクチュエータはすべてセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や漏れ電流の増加による故障から保護されます。 ・PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を実現します。 ・1,000億回のサイクルで一度も故障がないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの解像度

静電容量センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。これらは、動作の優れた直線性、長期安定性、および kHz 範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイたわみガイドによる高いガイド精度

・たわみガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。 ・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。 ・広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最高の精度

動作は、駆動要素やガイド要素の影響を受けることなく、動作プラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、卓越した安定性、堅固で高速応答の制御が可能になります。 ※ほかにも型番がございます。

  • 型番

    P-621.2CL

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P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ P-621.2CLの性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲、開ループ Y方向の移動範囲、開ループ ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) X方向の移動範囲 Y方向の移動範囲 Xの直線性誤差 Yの直線性誤差 X方向の解像度、開ループ Y方向の解像度、開ループ 統合センサー Xでのシステム解像度 Y単位のシステム解像度 Xにおける双方向の再現性 Y方向の双方向再現性 ドライブタイプ Xの電気容量 Y方向の電気容量 短期最大動作周波数 ガイド X方向の剛性 Y方向の剛性 Xの共振周波数、100gの荷重下 Xの共振周波数、50gの荷重下 X方向の共振周波数、無負荷 Y方向の共振周波数、100gの荷重下 Y方向の共振周波数、50gの荷重下
P-620.2–P-629.2PIHera XY軸 小型ピエゾステージ-品番-P-621.2CL 要見積もり XY 120μm 120μm ±3μrad ±3μrad ±3μrad ±3μrad 100μm 100μm 0.02% 0.02% 0.2nm 0.2nm 静電容量式の直接位置測定 0.4nm 0.4nm ±2nm ±2nm ピクマ® 1.5μF 1.5μF 178Hz レバー増幅機能付きたわみガイド 0.25N/μm 0.25N/μm 220Hz 285Hz 420Hz 285Hz 365Hz

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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