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クリアな絞り、高い移動精度、安定性 L-738 精密XYステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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速度 (mm/s)

設計解像度 (μm)

最小増分動作 (μm)

一方向の再現性 (μm)

双方向再現性 (μm)

保持力、電源オフ (N)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

X、Y

移動範囲 (mm)

102×102

角度誤差 xry (ピッチ) (μrad)

±40

角度誤差 xrz (ヨー) (μrad)

±20

角度誤差 yrx (ピッチ) (μrad)

±40

角度誤差 yrz (ヨー) (μrad)

±20

真直度・平面度 (μm)

±2

直交性 (μrad)

±96.963

統合センサー

インクリメンタルリニアエンコーダ

基準スイッチの再現性 (μm)

<1

リファレンススイッチとリミットスイッチ

二股光電センサー N/C接点 5V NPN

ドライブスクリュータイプ

ボールねじ

ドライブスクリューピッチ

2

ガイドタイプ (N)

循環ボールベアリングガイド

押す/引く力Fx、Fy電源オン (N)

100

負荷容量 (N)

200

許容トルク MxinθX (N・m)

130

許容トルク MyinθY (N・m)

130

許容トルク MzinθZ (N・m)

90

動作電圧、公称 (V)

24

動作電圧、最大 (V)

48

センサー分解能ロータリーエンコーダー (カット数/回転数)

20,000

この製品について

■特徴

・移動範囲102mm×102mm (4") ・大口径、150mm×150mm ・0.05µmまでの一方向の再現性 ・速度90mm/sまで ・2相ステッピングモーター、DCモーター ・分解能1nmのインクリメンタルリニアエンコーダ

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

・非接触光学式エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。 ・非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響しません。 ・光学リファレンスおよびリミットスイッチ。

■ドライブの種類

・低速でも高トルク、高分解能を実現する2相ステッピングモーター ・高速安定性、低振動、高速を実現するDCモーター

■循環型ボールベアリング

・慎重に組み立てられた場合、再循環ボールベアリングは、高い負荷容量、寿命、メンテナンスフリーの操作、およびガイド精度の有益な組み合わせによって際立っています。 ・ステージの可動部分は、2つのガイドレール上を走行する4つの予荷重リニアボールベアリング ユニットによってサポートされています。 ・各ベアリング ユニットは、循環する2つの独立した列のボール ベアリングで構成されています。

■応用分野

医療業界。レーザー切断。バイオテクノロジー。計測学。顕微鏡検査。

  • 型番

    L-738.053111

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クリアな絞り、高い移動精度、安定性 L-738 精密XYステージ L-738.053111の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 移動範囲 (mm) 角度誤差 xry (ピッチ) (μrad) 角度誤差 xrz (ヨー) (μrad) 角度誤差 yrx (ピッチ) (μrad) 角度誤差 yrz (ヨー) (μrad) 真直度・平面度 (μm) 直交性 (μrad) 速度 (mm/s) 統合センサー センサー信号 設計解像度 (μm) 最小増分動作 (μm) 一方向の再現性 (μm) 双方向再現性 (μm) 基準スイッチの再現性 (μm) リファレンススイッチとリミットスイッチ ドライブスクリュータイプ ドライブスクリューピッチ ガイドタイプ (N) 保持力、電源オフ (N) 押す/引く力Fx、Fy電源オン (N) 負荷容量 (N) 許容トルク MxinθX (N・m) 許容トルク MyinθY (N・m) 許容トルク MzinθZ (N・m) モーターの種類 動作電圧、公称 (V) 動作電圧、最大 (V)
クリアな絞り、高い移動精度、安定性 L-738 精密XYステージ-品番-L-738.053111 要見積もり X、Y 102×102 ±40 ±20 ±40 ±20 ±2 ±96.963 50 インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos、1Vピーク-ピーク、20μm信号周期 0.001 0.1 0.1 ±0.5
<1
二股光電センサー N/C接点 5V NPN ボールねじ 2 循環ボールベアリングガイド 20 100 200 130 130 90 DCモーター 24 48

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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