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アクティブ軸
θX, θY
θXの回転範囲、開ループ
2mrad
θYの回転範囲、開ループ
2mrad
θXでの分解能、開ループ
0.02μrad
θYの分解能、開ループ
0.02μrad
ドライブタイプ
ピクマ®
電気容量 (θX)
6μF
電気容量 (θY)
6μF
ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離
7.5mm
ガイド
レバー増幅機能付きたわみガイド
材料
ハウジング: アルミニウム。 プラットフォーム: アルミニウム。
コネクタ
レモLVPZT
推奨コントローラー/ドライバー
E-503、E-727
ケーブルの長さ
2m
使用温度範囲
-20~80℃
θXでの回転範囲回転範囲 (θY)
2mrad
θXの直線性誤差
0.10%
θYの直線性誤差
0.10%
統合センサー
SGS、間接位置測定
システム解像度 (θX)
0.2μrad
システム解像度 (θY)
0.2μrad
θXの双方向再現性
±0.075μrad
θYの双方向繰返し精度
±0.075μrad
センサーコネクタ
ひずみゲージセンサー用LEMO
型番
S-340.ASL取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | θXの回転範囲、開ループ | θYの回転範囲、開ループ | θXでの回転範囲回転範囲 (θY) | θXの直線性誤差 | θYの直線性誤差 | θXでの分解能、開ループ | θYの分解能、開ループ | 統合センサー | システム解像度 (θX) | システム解像度 (θY) | θXの双方向再現性 | θYの双方向繰返し精度 | ドライブタイプ | 電気容量 (θX) | 電気容量 (θY) | ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離 | ガイド | θXの共振周波数、無負荷 | 共振周波数 (θY、無負荷) | 慣性モーメント θX、無負荷 | 慣性モーメント θY、無負荷 | 全体の質量 | 材料 | 共振周波数 (θX、ガラスミラー負荷時) | コネクタ | 推奨コントローラー/ドライバー | ケーブルの長さ | 使用温度範囲 | センサーコネクタ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
要見積もり | θX, θY | 2mrad | 2mrad | 2mrad | 0.10% | 0.10% | 0.02μrad | 0.02μrad | SGS、間接位置測定 | 0.2μrad | 0.2μrad | ±0.075μrad | ±0.075μrad | ピクマ® | 6μF | 6μF | 7.5mm | レバー増幅機能付きたわみガイド | 1.7kHz | 1.7kHz | 18kg・mm² | 18kg・mm² | 355g |
ハウジング: アルミニウム。 プラットフォーム: アルミニウム。 |
1.4kHz | レモLVPZT | E-503、E-727 | 2m | -20~80℃ | ひずみゲージセンサー用LEMO |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000