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Ø75mm までのミラー駆動_ S-340 ピエゾチップ/チルトプラットフォーム-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

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返答時間

22.3時間

返信の比較的早い企業

θXの共振周波数、無負荷

共振周波数 (θY、無負荷)

慣性モーメント θX、無負荷

慣性モーメント θY、無負荷

全体の質量

共振周波数 (θX、ガラスミラー負荷時)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

θX, θY

θXの回転範囲、開ループ

2mrad

θYの回転範囲、開ループ

2mrad

θXでの分解能、開ループ

0.02μrad

θYの分解能、開ループ

0.02μrad

ドライブタイプ

ピクマ®

電気容量 (θX)

6μF

電気容量 (θY)

6μF

ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離

7.5mm

ガイド

レバー増幅機能付きたわみガイド

材料

ハウジング: アルミニウム。 プラットフォーム: アルミニウム。

コネクタ

レモLVPZT

推奨コントローラー/ドライバー

E-503、E-727

ケーブルの長さ

2m

使用温度範囲

-20~80℃

θXでの回転範囲回転範囲 (θY)

2mrad

θXの直線性誤差

0.10%

θYの直線性誤差

0.10%

統合センサー

SGS、間接位置測定

システム解像度 (θX)

0.2μrad

システム解像度 (θY)

0.2μrad

θXの双方向再現性

±0.075μrad

θYの双方向繰返し精度

±0.075μrad

センサーコネクタ

ひずみゲージセンサー用LEMO

この製品について

■特徴

・最大20nrad の分解能、優れた位置安定性 ・4mradまでの光ビーム偏向 ・プラットフォームとミラーの間のCTEを調整するためのさまざまな材料 ・より高い精度とダイナミクスを実現する平行運動学 ・ミリ秒未満の応答時間 ・Ø75mm (3") までのミラーの場合、ご要望に応じてØ100 mm (4") ・閉ループバージョンによる直線性の向上 ・優れた温度安定性

■応用分野

・画像処理・安定化 ・光トラップ ・大きな偏向角によるレーザースキャン/ビームステアリング ・レーザーチューニング ・光学フィルター/スイッチ ・光学 ・ビーム安定化

■フレクシャーガイドによる高いガイド精度

・フレクシャーガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。 ・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。 ・広い温度範囲で動作します。

■平行運動学による高ダイナミックな多軸動作

・パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。 ・最小の質量慣性とすべての軸の同一設計により、高速かつダイナミックでありながら正確な動作が可能になります。

■ミラーとプラットフォームの CTE を調整するための材料オプション

熱膨張係数を調整するには、次の材料の組み合わせが推奨されます。 ・アルミ製プラットフォーム:アルミ製ミラー ・インバー製雲台:石英ガラス製ミラー/Zerodur

  • 型番

    S-340.ASL

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Ø75mm までのミラー駆動_ S-340 ピエゾチップ/チルトプラットフォーム S-340.ASLの性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 θXの回転範囲、開ループ θYの回転範囲、開ループ θXでの回転範囲回転範囲 (θY) θXの直線性誤差 θYの直線性誤差 θXでの分解能、開ループ θYの分解能、開ループ 統合センサー システム解像度 (θX) システム解像度 (θY) θXの双方向再現性 θYの双方向繰返し精度 ドライブタイプ 電気容量 (θX) 電気容量 (θY) ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離 ガイド θXの共振周波数、無負荷 共振周波数 (θY、無負荷) 慣性モーメント θX、無負荷 慣性モーメント θY、無負荷 全体の質量 材料 共振周波数 (θX、ガラスミラー負荷時) コネクタ 推奨コントローラー/ドライバー ケーブルの長さ 使用温度範囲 センサーコネクタ
Ø75mm までのミラー駆動_ S-340 ピエゾチップ/チルトプラットフォーム-品番-S-340.ASL 要見積もり θX, θY 2mrad 2mrad 2mrad 0.10% 0.10% 0.02μrad 0.02μrad SGS、間接位置測定 0.2μrad 0.2μrad ±0.075μrad ±0.075μrad ピクマ® 6μF 6μF 7.5mm レバー増幅機能付きたわみガイド 1.7kHz 1.7kHz 18kg・mm² 18kg・mm² 355g ハウジング: アルミニウム。
プラットフォーム: アルミニウム。
1.4kHz レモLVPZT E-503、E-727 2m -20~80℃ ひずみゲージセンサー用LEMO

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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