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センサー/電圧コネクタ
推奨電子機器
アクティブ軸
θ X、θ Y
統合センサー
SGS
ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離
6.5mm
プラットフォーム慣性モーメント
1,530g × mm²
セラミックタイプ
ピクマ®
使用温度範囲
-20~80℃
ハウジング材質
鋼鉄
プラットフォーム素材
インバール
ケーブルの長さ
2メートル
型番
S-330.8SL取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 統合センサー | -20～120VでのθX、θYの先端/傾斜角、開ループ | θX、θY、閉ループでの傾斜/傾斜角 | θX、θY、開ループでの分解能 | θX、θY、閉ループでの分解能 | θX、θYの直線性誤差 | θX、θY、10%の先端/傾斜角の再現性 | θX、θY、100%先端/傾斜角の再現性 | 共振周波数、無負荷、θX、θY | 共振周波数、負荷時、θX、θY | ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離 | プラットフォーム慣性モーメント | セラミックタイプ | 電気容量 | 使用温度範囲 | ハウジング材質 | プラットフォーム素材 | 質量 | ケーブルの長さ | センサー/電圧コネクタ | 推奨電子機器 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | θ X、θ Y | SGS | 15μrad | 10μrad | 0.2μrad | 0.5μrad | 0.10% | 0.15μrad | 1.5μrad | 1.0kHz | 1.0kHz | 6.5mm | 1,530g × mm² | ピクマ® | 12.5/軸 | -20~80℃ | 鋼鉄 | インバール | 0.7kg | 2メートル | LEMO | E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00、E-732 |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
