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駆動軸数
12
粗雑測位 アクティブ軸
X, Y, Z
粗雑測位 X、Y、Z方向移動範囲
25, 25, 25 mm
粗雑測位 標準最小インクリメンタルモーション
3 µm
粗雑測位 最大速度
20 mm/s
粗雑測位 センサータイプ
ロータリエンコーダ
粗雑測位 ガイド
クロスローラーガイド
粗雑測位 ドライブの種類
直流モータ
精密測位 アクティブ軸
X、Y、Z
精密測位 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時)
100 µm
精密測位 最小インクリメンタルモーション オープンループ
0.3 nm
精密測位 最小インクリメンタルモーション クローズドループ
2.5 nm
精密測位 標準直線性誤差 (移動範囲全体)
2 %
精密測位 標準繰り返し性 (双方向)
2 nm
精密測位 センサータイプ
インクリメンタルリニアエンコーダ
精密測位 ドライブタイプ
ピクマ®
スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 500 μm Ø
<6s
スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 100 μm Ø
<1s
スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 10 μm Ø
<0.5s
スキャン時間グラジエントスキャン±5 μmでランダム化
<0.3s
動作温度範囲 メカニクス
-20~65 ℃
動作温度範囲 コントローラー
5~40 ℃
ケーブル長さ
3 m
出力信号
アナログ出力、理想的には線形から対数に変換
出力電圧範囲 (最大)
-5~5V
帯域幅 最小
1kHz
騒音レベル 最大
-60dBm
型番
F-712.MA2取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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アライメントテスタの製品34点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 駆動軸数 | 粗雑測位 アクティブ軸 | 粗雑測位 X、Y、Z方向移動範囲 | 粗雑測位 標準最小インクリメンタルモーション | 粗雑測位 最大速度 | 粗雑測位 センサータイプ | 粗雑測位 ガイド | 粗雑測位 ドライブの種類 | 精密測位 アクティブ軸 | 精密測位 移動範囲 (X、Y、Zクローズドループ時) | 精密測位 最小インクリメンタルモーション オープンループ | 精密測位 最小インクリメンタルモーション クローズドループ | 精密測位 標準直線性誤差 (移動範囲全体) | 精密測位 標準繰り返し性 (双方向) | 精密測位 センサータイプ | 精密測位 ドライブタイプ | スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 500 μm Ø | スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 100 μm Ø | スパイラルエリアスキャンのスキャン時間 10 μm Ø | スキャン時間グラジエントスキャン±5 μmでランダム化 | 動作温度範囲 メカニクス | 動作温度範囲 コントローラー | ケーブル長さ | 出力信号 | 出力電圧範囲 (最大) | 帯域幅 最小 | 騒音レベル 最大 |
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要見積もり | 12 | X, Y, Z | 25, 25, 25 mm | 3 µm | 20 mm/s | ロータリエンコーダ | クロスローラーガイド | 直流モータ | X、Y、Z | 100 µm | 0.3 nm | 2.5 nm | 2 % | 2 nm | インクリメンタルリニアエンコーダ | ピクマ® | <6s | <1s | <0.5s | <0.3s | -20~65 ℃ | 5~40 ℃ | 3 m | アナログ出力、理想的には線形から対数に変換 | -5~5V | 1kHz | -60dBm |
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