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非常にダイナミックで安定 P-752 高精度ピエゾナノポジショニングステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

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X単位の移動範囲 (µm)

移動範囲 (X) 、開ループ、-20〜120V (µm)

X単位のシステム解像度 (nm)

X単位の分解能、オープンループ (nm)

X単位の再現性 (nm)

X単位の電気容量 (μF)

Xの剛性 (N/μm)

Xの共振周波数、無負荷 (Hz)

Xの共振周波数、300gの負荷下 (Hz)

全体の質量 (g)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

X

Xの直線性誤差 (%)

0.03

ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad)

±1

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad)

±1

統合センサー

静電容量式、直接位置測定

ドライブの種類

ピクマ®

ガイド

レバー増幅付き曲げガイド

Xでの許容プッシュ力 (N)

100

Z単位の許容押し力 (N)

30

Xでの許容引っ張り力 (N)

10

材料

鋼鉄

使用温度範囲 (℃)

-20から80

センサーコネクタ

レモFFA.00.250.CTLC31

ケーブル長 (m)

1.5

推奨コントローラ/ドライバ

E-505,E-610,E-625,E-754

この製品について

■応用分野

・走査型顕微鏡 ・測定技術 ・テスト手順と品質保証 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング 製品説明

■PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命®

特許取得済みのPICMAピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMAアクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。®®

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■自動構成と高速コンポーネント交換

メカニックとコントローラーは、必要に応じて組み合わせて、迅速に交換することができます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラの自動キャリブレーション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを自動的に使用します。

■直接位置測定による最大精度

モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■製品仕様

・分解能0.1nm ・高速応答動作 ・最大移動範囲35μm ・静電容量センサーによる最高の直線性 ・非常に高い移動精度のための摩擦のない曲げガイド ・PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

■その他

・再現性:典型的なフルトラベル。 ・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。

  • 型番

    P-752.21C

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非常にダイナミックで安定 P-752 高精度ピエゾナノポジショニングステージ P-752.21Cの性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (µm) 移動範囲 (X) 、開ループ、-20〜120V (µm) Xの直線性誤差 (%) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) 統合センサー X単位のシステム解像度 (nm) X単位の分解能、オープンループ (nm) X単位の再現性 (nm) ドライブの種類 X単位の電気容量 (μF) ガイド Xの剛性 (N/μm) Xの共振周波数、無負荷 (Hz) Xの共振周波数、300gの負荷下 (Hz) Xでの許容プッシュ力 (N) Z単位の許容押し力 (N) Xでの許容引っ張り力 (N) 全体の質量 (g) 材料 使用温度範囲 (℃) コネクタ センサーコネクタ ケーブル長 (m) 推奨コントローラ/ドライバ
非常にダイナミックで安定 P-752 高精度ピエゾナノポジショニングステージ-品番-P-752.21C 要見積もり X 30 35 0.03 ±1 ±1 静電容量式、直接位置測定 0.2 0.2 ±2 ピクマ® 3.7 レバー増幅付き曲げガイド 20 2,100 600 100 30 10 350 鋼鉄 -20から80 レモFFS.00.250.CTCE24 レモFFA.00.250.CTLC31 1.5 E-505,E-610,E-625,E-754

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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