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アクティブ軸
X
X単位の移動範囲 (µm)
75
移動範囲 (X) 、開ループ、-20〜120V (µm)
75
ロール (θXの回転クロストークとXの運動) (μrad)
±10
ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad)
±10
統合センサー
静電容量式、直接位置測定
X単位のシステム解像度 (nm)
1
X単位の分解能、オープンループ (nm)
0.4
ドライブの種類
ピクマ®
X単位の電気容量 (μF)
7.7
ガイド
レバー増幅付き曲げガイド
Xの共振周波数、無負荷 (Hz)
600
Z単位の許容押し力 (N)
100
全体の質量 (kg)
2.55
コネクタ
レモFFS.00.250.CTCE24
センサーコネクタ
レモFFA.00.250.CTLC31
ケーブル長 (m)
1
推奨コントローラ/ドライバ
E-500•E-501,E-610,E-621,E-625,E-665,E-709,E-754
型番
P-750.20取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X単位の移動範囲 (µm) | 移動範囲 (X) 、開ループ、-20〜120V (µm) | ロール (θXの回転クロストークとXの運動) (μrad) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) | 統合センサー | X単位のシステム解像度 (nm) | X単位の分解能、オープンループ (nm) | ドライブの種類 | X単位の電気容量 (μF) | ガイド | Xの共振周波数、無負荷 (Hz) | Z単位の許容押し力 (N) | 全体の質量 (kg) | コネクタ | センサーコネクタ | ケーブル長 (m) | 推奨コントローラ/ドライバ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | X | 75 | 75 | ±10 | ±10 | 静電容量式、直接位置測定 | 1 | 0.4 | ピクマ® | 7.7 | レバー増幅付き曲げガイド | 600 | 100 | 2.55 | レモFFS.00.250.CTCE24 | レモFFA.00.250.CTLC31 | 1 | E-500•E-501,E-610,E-621,E-625,E-665,E-709,E-754 |
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ドライブの種類がPICMAの製品
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
