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Zの直線性誤差 (%)
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θXの直線性誤差 (%)
0.15
θYの直線性誤差 (%)
0.15
統合センサー
静電容量式、間接位置測定
ドライブの種類
ピクマ®
ガイド
レバー増幅付き曲げガイド
型番
P-518.TCD取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z単位の移動範囲 (µm) | 移動範囲 (Z)、開ループ (µm) | θX単位の回転範囲 (mrad) | θY単位の回転範囲 (mrad) | θX単位の回転範囲、開ループ (mrad) | 回転範囲 (θY)、開ループ (mrad) | Zの直線性誤差 (%) | θXの直線性誤差 (%) | θYの直線性誤差 (%) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) | ピッチ (θY単位回転クロストークZ単位運動) (µrad) | ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (µrad) | 統合センサー | Z単位のシステム解像度 (nm) | θX単位のシステム分解能 (µrad) | θY単位のシステム分解能 (µrad) | Z単位の分解能、オープンループ (nm) | θX単位の分解能、開ループ (µrad) | θY単位の分解能、開ループ (µrad) | Zでの双方向再現性 (nm) | θXにおける双方向再現性 (µrad) | 双方向再現性 (θY) (µrad) | ドライブの種類 | Z単位の電気容量 (μF) | ガイド | Z単位の剛性 (N/μm) | 共振周波数 (Z)、無負荷 (Hz) | 共振周波数 (Z単位) 、2,500gの負荷下 (Hz) | 共振周波数 (Z単位)、500gの負荷下 (Hz) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | ZθXθY | 100 | 140 | 1 | 1 | 1.4 | 1.4 | 0.03 | 0.15 | 0.15 | ±.25 | ±25 | ±5 | 静電容量式、間接位置測定 | 0.8 | 0.05 | 0.05 | 0.4 | 0.04 | 0.04 | ±5 | ±0.05 | 0.05 | ピクマ® | 2.1 | レバー増幅付き曲げガイド | 2.7 | 500 | 200 | 350 |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
