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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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X単位の移動範囲 (mm)

真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm)

平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm)

ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

X

X単位の最大速度、無負荷 (mm/s)

500

ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad)

±50

統合センサー

インクリメンタルリニアエンコーダ

Xにおける一方向再現性 (µm)

0.05

Xでの双方向再現性 (µm)

±0.15

X単位の最小増分モーション (μm)

0.04

センサー信号

Sin/cos、1Vピークピーク

センサー解像度 (nm)

15

基準スイッチ

エンコーダインデックス

リミットスイッチ

帰納

ドライブの種類

アイアンレス3相リニアモーター

公称電圧 (V)

48

公称電流、実効値 (A)

3.2

ピーク電流、実効値 (A)

7.5

X単位の正の運動方向への駆動力 (N)

50

X単位の負の運動方向への駆動力 (N)

50

X単位の負の運動方向へのピーク力 (N)

150

X単位の正の運動方向へのピーク力 (N)

150

力定数 (N/A)

19.9

抵抗相間 (Ω)

1.8

インダクタンス相間 (mH)

0.6

逆起電力位相 (V·s/m)

16

ポールピッチN-N (mm)

30

ガイド

再循環ボールベアリングガイド

質量をX単位で移動し、無負荷 (g)

900

この製品について

製品概要

■リファレンスクラスリニアステージ

再循環ボールベアリングによる高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (sin/cos、1Vpp) を備えたインクリメンタルエンコーダによる高い位置分解能。UPRシリーズの直接駆動回転ステージとの多軸の組み合わせ。DCサーボまたはステッピングモーターを搭載したモデルは、同じフットプリントで利用できます。

■磁気ダイレクトドライブ

高速と加速のためのアイアンレス磁気ダイレクトドライブ。高い位置分解能。

■応用分野

産業と研究。半導体または電子機器製造における計測、精密スキャン。

■製品特徴

・移動範囲508mm (20") ・500mm/sまでの速度 ・分解能15nmのインクリメンタルエンコーダ

  • 型番

    68509141

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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ 68509141の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm) 平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm) ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad) 統合センサー Xにおける一方向再現性 (µm) Xでの双方向再現性 (µm) X単位の最小増分モーション (μm) センサー信号 センサー解像度 (nm) 基準スイッチ リミットスイッチ ドライブの種類 公称電圧 (V) 公称電流、実効値 (A) ピーク電流、実効値 (A) X単位の正の運動方向への駆動力 (N) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) X単位の負の運動方向へのピーク力 (N) X単位の正の運動方向へのピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相 (V·s/m) ポールピッチN-N (mm) ガイド 質量をX単位で移動し、無負荷 (g)
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509141 要見積もり X 408 500 ±5 ±5 ±70 ±50 インクリメンタルリニアエンコーダ 0.05 ±0.15 0.04 Sin/cos、1Vピークピーク 15 エンコーダインデックス 帰納 アイアンレス3相リニアモーター 48 3.2 7.5 50 50 150 150 19.9 1.8 0.6 16 30 再循環ボールベアリングガイド 900

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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