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L-306 コンパクト精密Zステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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Z単位の一方向再現性µm

Zでの双方向再現性µm

Z単位の最小増分モーションµm

センサー解像度nm

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

Z

Z単位の移動範囲mm

13

Z単位の最大速度、無負荷mm/s

5

平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) µm

±3

真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) µm

±3

ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) µrad

±150

ピッチ (θY単位回転クロストークとZ単位の運動) µrad

±175

基準スイッチ

分岐光電センサ、N/C接点、5V、NPN

リミットスイッチ

分岐光電センサ、N/C接点、5V、NPN

Z単位の正の運動方向への駆動力N

20

Z単位の負の運動方向への駆動力N

20

ガイド

クロスローラーガイド

駆動ネジ式

ボールねじ

駆動ネジピッチmm

0.5

Zの保持力、パッシブ

20

質量をZ単位で移動し、無負荷N

180

Y単位の許容押し力g

10

Z 単位の許容押し力N

20

許容トルク(θx)N·m

1

許容トルク(θY)N·m

1

許容トルク(θZ)N·m

2

全体の質量g

600

材料

陽極酸化アルミニウム製, スチール製

統合センサー

インクリメンタルリニアエンコーダ

センサー信号

A/B直交、RS-422

この製品について

製品概要

■コンパクトなZステージ、用途が広い

ベルトギア付き折り畳み式駆動によるコンパクトなサイズのZステージ。M650mm×50mm接続グリッド (L-406など) を備えたリニアステージに適合します。

■ドライブ

・2相ステッピングモーターまたは閉ループDCモーター ・バックラッシュ補正ボールねじ

■位置測定

・インクリメンタルリニアエンコーダ (ステッピングモータバリエーションではオプション) ・非接触光リファレンスおよびリミットスイッチ

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

非接触光学式リニアエンコーダは、プラットフォーム上で直接最高の精度で位置を測定します 非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。

■クロスローラーガイド

クロスローラーガイドの場合、ボールガイド内のボールのポイントコンタクトは、硬化ローラーのラインコンタクトに置き換えられます。その結果、それらはかなり剛性が高く、プリロードが少なくて済み、摩擦を減らし、よりスムーズな走行を可能にします。クロスローラーガイドは、高いガイド精度と耐荷重によっても特徴付けられます。強制ガイド付き転動体ケージは、ケージクリープを防ぎます。

■応用分野

研究。半導体技術。フォトニクス。オートメーション。

■製品特徴

・コンパクト設計:表面63×63mm ・ステッピングモータと閉ループDCモータ ・オプション:直接位置測定用のリニアエンコーダ ・クロスローラーガイド ・非接触リファレンスおよびリミットスイッチ

  • 型番

    L‐306.011112

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L-306 コンパクト精密Zステージ L‐306.011112の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 Z単位の移動範囲mm Z単位の最大速度、無負荷mm/s 平坦度 (Xの線形クロストークとZの運動) µm 真直度 (Yの線形クロストークとZの運動) µm ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) µrad ピッチ (θY単位回転クロストークとZ単位の運動) µrad Z単位の一方向再現性µm Zでの双方向再現性µm Z単位の最小増分モーションµm 基準スイッチ リミットスイッチ 統合センサー センサー信号 センサー解像度nm ドライブの種類 Z単位の正の運動方向への駆動力N Z単位の負の運動方向への駆動力N ガイド 駆動ネジ式 駆動ネジピッチmm Zの保持力、パッシブ 質量をZ単位で移動し、無負荷N Y単位の許容押し力g Z 単位の許容押し力N 許容トルク(θx)N·m 許容トルク(θY)N·m 許容トルク(θZ)N·m 全体の質量g 材料
L-306 コンパクト精密Zステージ-品番-L‐306.011112 要見積もり Z 13 5 ±3 ±3 ±150 ±175 0.1 ±0.5 0.1 分岐光電センサ、N/C接点、5V、NPN 分岐光電センサ、N/C接点、5V、NPN インクリメンタルリニアエンコーダ A/B直交、RS-422 5 2相ステッピングモーター 20 20 クロスローラーガイド ボールねじ 0.5 20 180 10 20 1 1 2 600 陽極酸化アルミニウム製, スチール製

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アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

26.5時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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