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コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

株式会社大阪真空機器製作所の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

163.7時間

排気速度 ガスバラスト無 L/min

接続形式 吸気

概略重量kg

電源 電源容量 VA

消費電力 到達時 W

消費電力 最大 W

全型番で同じ値の指標

排気速度 ガスバラスト有 L/min

200

到達圧力 ガスバラスト無 Pa

0.5

圧力 ガスバラスト有 Pa

2

接続形式 排気

KF25

電源 相数

単相

電源 接続

平川ヒューテック製CM11

排気速度 ガスバラスト有 L/min

この製品について

■DSP251

・ポータブルタイプ ・小型・軽量・外乱に強い。タイミングギアレス構造により、軽量化を実現。 ・ユーティリティーの利便性向上 ・ガスバラスト機構を標準搭載。空冷タイプのため冷却水の準備が不要。 ・オイルフリー ・タイミングギヤレス構造により、潤滑油を使用しない設計を実現。 ・低騒音 ・タイミングギアレス構造により機械音がない。外装カバーに防音機能を装備。 ・低振動 ・スクリュー形ロータの採用により、排気脈動が発生しない。 ・省エネルギー ・競合他社と比較して、低消費電力を実現。 ・クリーン排気 ・油回転真空ポンプのように油蒸気やパーティクルの逆流がない為、非常にクリーンな排気を実現。 ・高速ポンプダウン ・大気圧付近で大排気速度を実現。 ・安全規格CE適合

■用途

・SEM、リソグラフィ ・医療装置 ・ロードロック/搬送室排気 ・分析機器 ・加速器、イオン源、電子銃排気 ・一般産業 ・PVD ・R&D

  • 型番

    DSP501

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コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ DSP501の性能表

商品画像 価格 (税抜) 排気速度 ガスバラスト無 L/min 排気速度 ガスバラスト有 L/min 到達圧力 ガスバラスト無 Pa 圧力 ガスバラスト有 Pa 接続形式 吸気 接続形式 排気 概略重量kg 電源 相数 電源 電圧 V 電源 電源容量 VA 電源 接続 消費電力 到達時 W 消費電力 最大 W
コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ DSPシリーズ-品番-DSP501 要見積もり 500 0.5 2 KF40 KF25 21 単相 AC100-230±10% 660 平川ヒューテック製CM11 270 600

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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163.7時間

会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府

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