株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

GSWシリーズは、並列接続で、出力は最大240kWまで拡張可能です。特殊な回路設計により、「マスターースレイブ」の仲介システムは別途不...

10種類の品番

• 電源

• DC電源

ADL社のDC電源と組み合わせることにより、SD151/SD301及びSD351は、より早い放電の為に、リバースパルスを伴ったユニポーラパルスを生成...

4種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

イオンソースの為に、特別に設計された電源です。リクエストベースで、仕様以外の電圧出力や、容量をカスタマイズ可能です。すべてのモ...

9種類の品番

• 電源

• DC電源

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。 ・ターゲット使用効...

4種類の品番

幅218mm、高さ222mmという、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、マ...

10種類の品番

• 電源

• DC電源

非リアクティブプロセスにおいて、HX900 からHX1400のモデルは、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。ユーザーの様...

4種類の品番

• 電源

• DC電源

■特徴 ・径13mmのマイクロチューブへのスクリューキャップの取り付けを自動化します。特許取得済みです。 ・径13mm以外にも、様々なキャ...

2種類の品番

• FA機器

• 打栓機

HXFは、特にセンシティブでダメージを受けやすい成膜向けに開発されました。その完全自動なアーク制御システムは、0.3mj/kW以下にそのア...

6種類の品番

• 電源

• DC電源

ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズ...

7種類の品番

■特徴 ・円筒型単結晶Si (シリコン) スパッタリングターゲットをチョクラルスキー法 (CZ法) で製造します。 ・純度99.99％を超える高純...

「EMICON SA-HIPIMS」は、特にHIPIMSプロセスに焦点を置いた「EMICON SA」のアップグレードモデルです。成膜中に、プラズマのスペクトル...

• 業務効率化システム・ソフトウェア

• 稼働監視

このパルスジェネレータは、左右対称なMFACカレントの置き換え、そして、左右非対称な矩形パルスを形成するバイポーラパルス、その両方...

2種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

MF/バイポーラパルスジェネレータHXB900からHXB1400は、一つのキャビネットで、大きな出力、コンパクトデザイン、及び高速アーク制御を...

4種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

高精度かつ再現性高く、予め設定した分注量 (およびその倍数量) の粉末を分注することができます。実験室での吐出ソリューションは、実...

2種類の品番

固形材料の粉砕機能を備えた、粉砕機能付きパウダーディスペンサーPCD-1は、予め設定した分量を、高精度かつ、高い再現性で、粉砕し、そ...

• 加工・工作機器

• 粉砕機

試験管・キャッパー/デキャッパーMCD-13は、マイクロチューブのスクリューキャップの取り付けと取り外しの負担を減らします。直接触る必...

• FA機器

• 打栓機

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。 ・ターゲット使用効...

3種類の品番

ハイパワーと、容易な操作性、そして安定したプロセスを得ようとした場合、HXD901-HXD1401を利用することが、最も簡単な解決策です。モ...

4種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

■特徴 ・導電性素材のシート抵抗を測定します ・非接触型で 対象物を傷つけずに測定が可能 ・0.005 Ohms/sq から 100,000 Ohms/sqの間で...

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。 ・ターゲット使用効...

3種類の品番

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。 ・ターゲット使用効...

このパルスジェネレータは、ADL社製DC電源との連携により、ユニポーラパルスを発生させます。ADL社パルスジェネレータは、20kHz固定とな...

3種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

■概要 ポータブル型粉体ディスペンサーSDH-1は、予めその分注量を設定しておけば、その量並びにその倍数量の粉体を高精度かつ高い再現性...

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。 ・ターゲット使用効...

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。 ・ターゲット使用効...

■特徴 ・パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇が無い為、基板ダメージが少ない ・適用真空範囲が、1ｘ10-4から1ｘ10-1 mbarと...

• 半導体製造

• CVD装置

■特徴 ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能 (例：SiO2のリアクティブ成膜) ・200nmから...

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。 ・ターゲット使用効...

■品名 シリコン (Si) パウダー ■製造者 中国・Fuzhou Yinrich Metallurgical Materials Co., Ltd ■用途1 スパッタリングターゲット原...

• 高分子材料

• シリコン樹脂