XQ Instruments

イオンソースの為に、特別に設計された電源です。リクエストベースで、仕様以外の電圧出力や、容量をカスタマイズ可能です。すべてのモ...

9種類の品番

• 電源

• DC電源

SPIK3000A パルスパワーコントローラーは、フローティング出力を備えるあらゆるDC電源と連携可能で、お手持ちのDC電源を、最先端のパル...

4種類の品番

• 電源

• パルス電源

ADL社のDC電源と組み合わせることにより、SD151/SD301及びSD351は、より早い放電の為に、リバースパルスを伴ったユニポーラパルスを生成...

4種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

Melec社製測定システム (MS) は、ユーザーのHiPIMSプロセスを最適化する為にもっとも有効なツールです。MSは、1,000V対10V並びに1,000Ａ...

8種類の品番

• メーター・計測機器

• 電圧計

■特徴 ・導電性素材のシート抵抗を測定します ・非接触型で 対象物を傷つけずに測定が可能 ・0.005 Ohms/sq から 100,000 Ohms/sqの間で...

• メーター・計測機器

• 抵抗計

■特徴 ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能 (例：SiO2のリアクティブ成膜) ・200nmから...

• メーター・計測機器

• データロガー・記録計

EMICON SA-HIPIMSシステムは、EMICON SAシステムのアップグレードバージョンです。プロセスガスの制御に有効なスペクトル測定と同時に、...

• メーター・計測機器

• データロガー・記録計

このパルスジェネレータは、ADL社製DC電源との連携により、ユニポーラパルスを発生させます。ADL社パルスジェネレータは、20kHz固定とな...

3種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロータリーカ...

3種類の品番

SDM-1は、非常に正確にかつ再現性高く、予め規定した量のパウダーを分注します。 SDM-1は、研究室での効率性を高め、同時に作業工程の精...

• FA機器

• 自動分注装置

MF/バイポーラパルスジェネレータHXB900からHXB1400は、一つのキャビネットで、大きな出力、コンパクトデザイン、及び高速アーク制御を...

4種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

■特徴 ・真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも可能です。 ・従来型よりも、センサーの測定レンジが約400倍広い為、...

• メーター・計測機器

• 抵抗計

ハイパワーと、容易な操作性、そして安定したプロセスを得ようとした場合、HXD901-HXD1401を利用することが、最も簡単な解決策です。モ...

4種類の品番

• ジェネレータ・発生器

• パルス発生器

ポータブル型粉体ディスペンサーSDH-1は、予めその分注量を設定しておけば、その量並びにその倍数量の粉体を高精度かつ高い再現性で分注...

• FA機器

• 自動分注装置

デスクトップ型の粉体自動ディスペンサーSDB-1は、高精度かつ再現性高く、予め設定した分注量 (およびその倍数量) の粉末を分注すること...

• FA機器

• 自動分注装置

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。 ・ターゲット使用効...

3種類の品番

■概要 ロボットモジュールに組み込まれた粉末ディスペンサーSDB-1は、ラックにセットされたマイクロチューブやバイアルへの自動分注を行...

• FA機器

• 自動分注装置

デスクトップ型の粉体自動ディスペンサーSDB-2は、高精度かつ再現性高く、予め設定した分注量 (およびその倍数量) の粉末を分注すること...

• FA機器

• 自動分注装置

■特徴 ・パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇が無い為、基板ダメージが少ない ・適用真空範囲が、1ｘ10-4から1ｘ10-1 mbarと...

• 加工・工作機器

• プラズマCVD装置

約3mの基板幅に対し、±0.5％以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネッ...

固形材料の粉砕機能を備えた、粉砕機能付きパウダーディスペンサーPCD-1は、予め設定した分量を、高精度かつ、高い再現性で、粉砕し、そ...

• FA機器

• 自動分注装置

RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になります。 これに...

試験管・キャッパー/デキャッパーMCD-13は、マイクロチューブのスクリューキャップの取り付けと取り外しの負担を減らします。直接触る必...

このユニットは、自動的に、最適なインピーダンスに整合します。例えば、プラズマエッチング、リアクティブエッチング (R.I.E) 、プラズ...

非リアクティブプロセスにおいて、HX900からHX1400のモデルは、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。 ユーザーの様...

4種類の品番

• 電源

• DC電源

■特徴 ・99.99%以上の超高純度シリコン (Si) ターゲットを円筒形でご提供 ・任意の割合で、ボロン (B) を添加可能 ・平面、ディスク形状...

今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲットの成膜を円筒カソードに応用する事が可能になります。 ■特徴 ・ニッケル等、強磁性体円筒タ...

■特徴 ・組成：90wt% In2O3 – 10wt% SnO2はもちろん、SnO2の組成比を1wt%から20wt%まで柔軟に対応致します。 ・最長670mmまで分割無しで...