プレマテックのFPD製造装置

大型サンプル顕微鏡検査装置 SEC-2000

フォトニックインストゥルメンツ株式会社

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FPD用レーザーリペア装置

フォトニックインストゥルメンツ株式会社

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FPD用シールライン幅自動検査装置

フォトニックインストゥルメンツ株式会社

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FPD用自動光学検査装置 (AOI：Automated Optical Inspection)

フォトニックインストゥルメンツ株式会社

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FPD用マクロ検査装置

フォトニックインストゥルメンツ株式会社

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多様なエッチングとデポジションのソリューションを、使い易い大気装入方式で実現 PlasmaPro 80 RIE

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プラズマ励起化学気相堆積ロセスの柔軟なソリューション PlasmaPro 800 PECVD

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RIEプロセスの柔軟なソリューションをコンパクトな専有面積かつオープンロードシステムで実現 PlasmaPro 800 RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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低ダメージで平滑な表面が実現 PlasmaPro 100 ALE 原子層エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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DRIEアプリケーション用プラットフォーム PlasmaPro 100 Estrelas DRIE

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広範なプロセスに対応した等方性・異方性ドライエッチング PlasmaPro 100 RIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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