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キヤノンアネルバ株式会社
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メタノールガスによる低ダメージプロセス、保護膜形成までを一括処理するMTJ素子加工向けのエッチング装置です。 MRAM磁性積層膜のマスク・MTJの加工 (ドラ...
キヤノンアネルバ株式会社
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