項目別

移動範囲 mm

0 - 1 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3

分解能 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能 μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

ピーアイ・ジャパンの位置決めステージ

企業: ピーアイ・ジャパン最高速度: 100 - 500 mm/秒

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