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移動範囲 mm

0 - 1 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3

分解能 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能 μrad

0 - 0.3 0.3 - 1
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ピーアイ・ジャパンの位置決めステージ

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ピーアイ・ジャパン株式会社

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■製品特徴 ・スキャンアプリケーションや高解像度の位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズは300 m...

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A-105-A-10x　リニアエアベアリングモジュール
A-107-A-10x　リニアエアベアリングモジュール

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