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メディア研究所の成膜装置

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株式会社メディア研究所

MRAM/TMR成膜装置 TIMARIS

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■特徴 ・Ø150/200/300mmウェハ対応ブリッジツールコンセプト ・1デポジションモジュールに10カソード ・直線動作中にデポを行うリニアダ...


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