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株式会社メディア研究所
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株式会社メディア研究所
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■概要 数多くの真空スパッタリング装置が太陽電池製造産業で稼働しており、SINGULUSTECHNOLOGIES社は 水平基板輸送を備えたハイスループット インライン スパ...
株式会社メディア研究所
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■特徴 ・Ø150/200/300mmウェハ対応ブリッジツールコンセプト ・1デポジションモジュールに10カソード ・直線動作中にデポを行うリニアダイナミックデポジショ...
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