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オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマCVD装置

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3 点の製品

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

ICPCVDプロセスモジュール PlasmaPro 100 ICPCVD

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ICPCVD (誘導結合プラズマ) プロセスモジュールは、低温で高品質の薄膜を製造するように設計され、高密度リモートプラズマによりダメー...


オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

プラズマCVDシステム PlasmaPro 100 PECVD

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PlasmaPro 100 PECVD システムは、屈折率、応力、電気特性、ウェットケミカルエッチング速度などの膜特性を制御し、優れた均一性を持つ...


オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

プラズマ励起化学気相堆積ロセスの柔軟なソリューション PlasmaPro 800 PECVD

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PlasmaPro 800は、プラズマ励起化学気相堆積 (PECVD) プロセスの柔軟なソリューションを、大きなウェハバッチと300mmウェハにおいて、コ...


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