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神港精機のALD装置

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薄膜形成装置 プラズマCVD装置-神港精機株式会社

神港精機株式会社

薄膜形成装置 プラズマCVD装置

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600mm 基板に対応した大型プラズマCVD装置です。 緻密なシリコン酸化膜の形成が可能で薄膜キャパシタの作製に適しています。


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