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神港精機のALD装置

27 点の製品がみつかりました

27 点の製品

神港精機株式会社

薄膜形成装置 標準型蒸着装置

560人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

個別半導体・化合物半導体の生産工程で豊富な実績を誇るベストセラータイプです。 豊富なオプションと高い信頼性が量産現場で実力発揮します。

4種類の品番

AAMF-C2280SPB-薄膜形成装置 標準型蒸着装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置

450人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

用途が拡大しているリフトオフプロセスに対応した専用蒸着装置です。 高い蒸発粒子の垂直性と基板水冷機構の採用によりレジストの保護と微細パターンの維持を...

2種類の品番

AAMF-C1650SBR-薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 研究開発用スパッタリング装置

740人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

実験や基礎研究に最適なコンパクトなハード構成です。ローコストで信頼性の高いハードを提供いたします。 ロードロックタイプ装置仕様 ・SRL3320 平行平板型...

6種類の品番

SRV3100-薄膜形成装置 研究開発用スパッタリング装置
SRV3300-薄膜形成装置 研究開発用スパッタリング装置
SRV4320-薄膜形成装置 研究開発用スパッタリング装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 巻取式スパッタリング装置

320人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

樹脂のみならず金属箔の連続巻取り処理を実現したRtoRタイプ最新成膜装置です。 カソード・プラズマ処理電極・加熱機構など各機構をユニット化、幅広い用途...


神港精機株式会社

薄膜形成装置 バッチスパッタリング装置

440人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

各種電子デバイスや高機能材料のR&Dから量産に最適なバッチタイプのスパッタリング装置のラインアップです。 小径カソードにより大面積への均一な成膜を特徴...

3種類の品番

SRV4310-薄膜形成装置 バッチスパッタリング装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 ロードロックスパッタリング装置

520人以上が見ています

最新の閲覧: 22時間前

省スペースを実現したロードロック式スパッタリング装置です。 カセット室に最大Φ270のトレーが、標準で12枚セット可能で、連続スパッタリングが行えます。 ...

3種類の品番

STL5321-薄膜形成装置 ロードロックスパッタリング装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 超高真空スパッタリング装置

370人以上が見ています

最新の閲覧: 28分前

スパッタ室にて 10⁻⁷Pa のバックグランドの排気性能を持つ超高真空対応の牧葉式スパッタリング装置です。 ロードロック室・カセット室・搬送室・スパッタ室...


神港精機株式会社

薄膜形成装置 マルチチャンバスパッタリング装置

550人以上が見ています

最新の閲覧: 15時間前

Siウェハ・ガラス・セラミックス等基板・用途を問わず柔軟に対応可能な最新型スパッタリング装置です。 1991年に発表されたR&D用マルチチャンバスパッタリン...

3種類の品番

STM4415-薄膜形成装置 マルチチャンバスパッタリング装置

神港精機株式会社

薄膜形成装置 インラインスパッタリング装置

490人以上が見ています

最新の閲覧: 23時間前

ガラス基板を対象とした通過成膜型インラインタイプのスパッタリング装置です。 矩形カソードを多元で装備しておりプロセスや生産数に合わせて、成膜室、加...


神港精機株式会社

薄膜形成装置 バッチ式 プラズマ重合装置

260人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。 生体と接触する被膜の形成などに応用されてい...


神港精機株式会社

薄膜形成装置 プラズマCVD装置

330人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

600mm 基板に対応した大型プラズマCVD装置です。 緻密なシリコン酸化膜の形成が可能で薄膜キャパシタの作製に適しています。


神港精機株式会社

薄膜形成装置 ロードロック式 プラズマ重合装置

230人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

真空チャンバーに導入したモノマーガスを高周波によりプラズマ化し、基板表面にポリマー膜を形成する装置です。 生体と接触する被膜の形成などに応用されてい...


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