半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR
タツモ株式会社
この製品について
■製品特徵
・プラットホーム 高速処理を可能にする搬送システムを搭載しています。 ・プロセスユニット 各種モニタを利用した管理方法により、高品質プロセスを実現します。 オプションのリン酸再生システムのPSYRION®やNISON®1800を搭載することで、環境対策、薬液使用量の低減に貢献します。 プロセスモジュールを自由にレイアウトすることが可能です。 ・操作性 視認性に優れたインターフェースを採用しています。-
シリーズ
半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR
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取扱企業
タツモ株式会社
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カテゴリ
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半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク |
|---|---|---|---|
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TIGRISR |
要見積もり | Φ200 & 300mmウェーハ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
