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半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR-TIGRISR
半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR-タツモ株式会社

半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR
タツモ株式会社

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この製品について

バッチ式洗浄装置TIGRIS®200及びTIGRIS®300は、200mm/300mm対応型の高機能浸漬洗浄エッチングシステムで、業界標準仕様に所有技術を付加しました。各種モニタを活用してのプロセス管理で、高品質プロセスを実現します。また、環境フレンドリー且つ、薬液使用量の低減を実現した、リン酸再生システムのPSYRION®やNISON®1800もオプションとして搭載可能です。

■製品特徵

・プラットホーム 高速処理を可能にする搬送システムを搭載しています。 ・プロセスユニット 各種モニタを利用した管理方法により、高品質プロセスを実現します。 オプションのリン酸再生システムのPSYRION®やNISON®1800を搭載することで、環境対策、薬液使用量の低減に貢献します。 プロセスモジュールを自由にレイアウトすることが可能です。 ・操作性 視認性に優れたインターフェースを採用しています。

  • シリーズ

    半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR

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半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 適用ワーク
半導体製造装置 洗浄装置 バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム TIGRISR-品番-TIGRISR

TIGRISR

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この商品の取り扱い会社情報

タツモ株式会社

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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