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コントローラ内蔵正立顕微鏡用自動XYステージEK 75x50 Pilot取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ユニット名 | 移動範囲 | 分解能 | 繰り返し精度 | 位置決め精度 | X駆動 | Y駆動 | 重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ステージEK 75x50 Pilot |
要見積もり |
波長範囲 |
75 mm x 50 mm |
0.05um (最小ステップサイズ) |
< 1um |
±3um |
ボーデン・ケーブル |
ラックアンドピニオン |
2.9 kg (同軸ドライブなし:2.5 kg) |
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移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300駆動方式
リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40