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クライオポンプ CRYO-Uシリーズ-CRYO-U4H
クライオポンプ CRYO-Uシリーズ-アルバック販売株式会社

クライオポンプ CRYO-Uシリーズ
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この製品について

■概要

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。4インチから30インチ口径までの標準機種を取り揃えています。

■用途

・真空蒸着装置 ・核融合装置 ・スパッタリング装置 ・表面分析装置 ・イオン注入装置 ・スペースチャンバ ・半導体プロセス装置 ・加速器 ・その他清浄な高真空、極高真空が要求される装置

■特長

・他のポンプでは得られないクリーンな真空が得られます。 ・すべての気体の排気ができます。 ・液体窒素が不要なので安いランニングコストでご使用いただけます。 ・どのような方向にも取付けられます。 ・コンパクトなデザインで軽量です。 ・操作が簡単です。 ・イオンポンプやターボ分子ポンプにくらべて大きな排気速度が得られます。

■幅広い用途に

・スパッタ装置用に大排気容量型 ・エッチング、CVD装置などのために耐食性型 ・極高真空用にベーカブルタイプ ・分析機器、実験装置などのために低振動型

■その他

さらに、バンドヒータ、ノイズに強いクライオ温度計、水分の多い場合の排気にスーパートラップ、自動再生装置など豊富なオプションを揃えております。なお、お客様の重要な生産ラインに組み込まれることをふまえて、全国30カ所以上のサービス拠点よりニーズに即応できるサービス体制を敷いて、ご満足いただ けるよう心がけております。

  • シリーズ

    クライオポンプ CRYO-Uシリーズ

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クライオポンプ CRYO-Uシリーズ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気速度 (20℃) 到達圧力 最大流量 排気容量 冷却降下時間 (電力サイクル) 吸気口フランジ コンプレッサユニット (水冷) 質量
クライオポンプ CRYO-Uシリーズ-品番-CRYO-U4H

CRYO-U4H

要見積もり

窒素：450L/s
水素：500L/s
アルゴン：370L/s
水：1,100L/s

10^-7 Pa

アルゴン：1.3×10^3 Pa・L/s

アルゴン：1.0×10^7 Pa・L
水素：1.5×10^5 Pa・L

50Hz：45min
60Hz：40min

ISO-K,DN100

C10

14.5 kg

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真空ポンプ

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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アルバック販売株式会社

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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