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セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 冷却方式 | 吸気口側フランジ *1 | 排気口側フランジ | 排気速度 (保護ネット無し時) | 到達圧力 (2段式補助ポンプ使用時) ベーキング後 | 到達圧力 (2段式補助ポンプ使用時) ベーキング前 | 最大圧縮比 | 最大吸気口圧力 | 最大排気口圧力 | 連続運転最大流量 ガスパージ無 N2 | 連続運転最大流量 ガスパージ無 Ar | 連続運転最大流量 ガスパージ有 Ar | 推奨補助ポンプ (10SCCM吸引時) *8 | 質量 VG,ISO/ICF | 回転数 | 起動時間 (80%まで) | 表面処理 *9 | 取り付け方向 | 騒音 *10 | 標準付属品 |
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UTM300B |
要見積もり |
自然空冷 強制空冷 |
VG100,ICF152,ISO100-K *1 ご注文時にVG100,ICF152,ISO100-Kから選択ください。 |
KF16 |
N2:280 L/s He:270 L/s H2:220 L/s |
自然空冷:*2 強制空冷:10^-8Pa *2 ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。 |
自然空冷:10^-6Pa 強制空冷:10^-6Pa |
N2:>1×10^9,He:7×10^6,H2:1×10^5 |
自然空冷:0.06Pa 強制空冷:0.7Pa |
自然空冷:100Pa 強制空冷:1,000Pa |
自然空冷:10sccm 強制空冷:100sccm |
強制空冷:30sccm | 強制空冷:40sccm |
120L/min以上 *8 ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助 ポンプを選定ください。 |
自然空冷:6kg/9kg 強制空冷:6.3kg/9.3kg |
60,000rpm |
3.5分 (DC24V 背圧5Pa以下時) |
無し *9 反応性ガス、腐食性ガス、Gaを含むガスを流さないでください。その他のガスについてはお問い合わせください。 |
全方位 |
50dB (A) 未満 *10 ISOフランジタイプ。当社測定法による。 |
取扱説明書 (和英併記) 、保護ネットキャップ (VG,ICFのみ、ISOフランジはガスケットに組み込み) 、 ガスケット (吸気口用) 、ダストキャップ (吸気口,排気口,コネクタ用) 各1 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。