セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B
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この製品について

■概要セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

■用途・分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系
・蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系
・H2、Heなどの軽ガスの主排気系

■取り付け方向自由取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。

■オンボードコントローラ搭載コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。

■高圧縮比・高背圧圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能です。

■3種類のフランジを用意VG100、ICF152、ISO100-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。

■清浄な真空運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。

■低騒音無負荷運転時の騒音は50dB以下と静かです。 (ISO-100Kフランジタイプの測定値です) 

■適合規格CE、NRTL適合

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

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セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	冷却方式	吸気口側フランジ *1	排気口側フランジ	排気速度 (保護ネット無し時)	到達圧力 (2段式補助ポンプ使用時) ベーキング後	到達圧力 (2段式補助ポンプ使用時) ベーキング前	最大圧縮比	最大吸気口圧力	最大排気口圧力	連続運転最大流量ガスパージ無 N2	連続運転最大流量ガスパージ無 Ar	連続運転最大流量ガスパージ有 Ar	推奨補助ポンプ (10SCCM吸引時) *8	質量 VG,ISO/ICF	回転数	起動時間 (80%まで)	表面処理 *9	取り付け方向	騒音 *10	標準付属品
	UTM300B	要見積もり	自然空冷強制空冷	VG100,ICF152,ISO100-K *1 ご注文時にVG100,ICF152,ISO100-Kから選択ください。	KF16	N2:280 L/s He:270 L/s H2:220 L/s	自然空冷:2 強制空冷:10^-8Pa 2 ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。	自然空冷:10^-6Pa 強制空冷:10^-6Pa	N2:>1×10^9,He:7×10^6,H2:1×10^5	自然空冷:0.06Pa 強制空冷:0.7Pa	自然空冷:100Pa 強制空冷:1,000Pa	自然空冷:10sccm 強制空冷:100sccm	強制空冷:30sccm	強制空冷:40sccm	120L/min以上 *8 ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助ポンプを選定ください。	自然空冷:6kg/9kg 強制空冷:6.3kg/9.3kg	60,000rpm	3.5分 (DC24V 背圧5Pa以下時)	無し *9 反応性ガス、腐食性ガス、Gaを含むガスを流さないでください。その他のガスについてはお問い合わせください。	全方位	50dB (A) 未満 *10 ISOフランジタイプ。当社測定法による。	取扱説明書 (和英併記) 、保護ネットキャップ (VG,ICFのみ、ISOフランジはガスケットに組み込み) 、ガスケット (吸気口用) 、ダストキャップ (吸気口，排気口，コネクタ用) 各1