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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ-UTM-3301FW
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ-アルバック販売株式会社

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト〜ミドルプロセス用に、FWシリーズは、高域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル〜ハードプロセス用にご利用ください。

■用途

・ミドル〜ハードプロセス用メインポンプとして (FWシリーズ) ・ライト〜ミドルプロセス用メインポンプとして (FHシリーズ) ・各種実験装置等の高〜超高真空排気用メインポンプとして

■特長

・監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。 ・カップリングフリーシステムの搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能。 ・スピードバリアブルシステム搭載。排気速度を25%〜100%の範囲で可変。 ・優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能。 (FWシリーズ) ・破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。 ・CE対応

  • シリーズ

    デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

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評判がとても良い

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2025年8月7日にレビュー

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回返答までの時間・1.11時間

2025年7月28日にレビュー

返信までのタイムラグがありましたが,返信内容は丁寧でした。

初回返答までの時間・69.57時間

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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 高背圧かつ高圧縮型 吸気口フランジ口径 N2排気速度 (L/s) *1 *2
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ-品番-UTM-3301FW

UTM-3301FW

要見積もり

UTM-3303FH

VG350

3,300
*1 JVIS005規格による計測値、またはその計測値にもとづく計算値
*2 保護金網無しの値

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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