デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト〜ミドルプロセス用に、FWシリーズは、高域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル〜ハードプロセス用にご利用ください。■用途
・ミドル〜ハードプロセス用メインポンプとして (FWシリーズ) ・ライト〜ミドルプロセス用メインポンプとして (FHシリーズ) ・各種実験装置等の高〜超高真空排気用メインポンプとして■特長
・監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。 ・カップリングフリーシステムの搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能。 ・スピードバリアブルシステム搭載。排気速度を25%〜100%の範囲で可変。 ・優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能。 (FWシリーズ) ・破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。 ・CE対応-
シリーズ
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 高背圧かつ高圧縮型 | 吸気口フランジ口径 | N2排気速度 (L/s) *1 *2 |
|---|---|---|---|---|---|
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UTM-3301FW |
要見積もり | UTM-3303FH | VG350 |
3,300 *1 JVIS005規格による計測値、またはその計測値にもとづく計算値 *2 保護金網無しの値 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
