デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ-UTM-3301FW

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト〜ミドルプロセス用に、FWシリーズは、高域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル〜ハードプロセス用にご利用ください。

■用途・ミドル〜ハードプロセス用メインポンプとして (FWシリーズ) 
・ライト〜ミドルプロセス用メインポンプとして (FHシリーズ) 
・各種実験装置等の高〜超高真空排気用メインポンプとして

■特長・監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。
・カップリングフリーシステムの搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能。
・スピードバリアブルシステム搭載。排気速度を25%〜100%の範囲で可変。
・優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能。 (FWシリーズ) 
・破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。
・CE対応

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	高背圧かつ高圧縮型	吸気口フランジ口径	N2排気速度 (L/s) 1 2
	UTM-3301FW	要見積もり	UTM-3303FH	VG350	3,300 1 JVIS005規格による計測値、またはその計測値にもとづく計算値 2 保護金網無しの値