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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ-UTM-3301FW
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ-アルバック販売株式会社

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
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■概要

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト〜ミドルプロセス用に、FWシリーズは、高域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル〜ハードプロセス用にご利用ください。

■用途

・ミドル〜ハードプロセス用メインポンプとして (FWシリーズ) ・ライト〜ミドルプロセス用メインポンプとして (FHシリーズ) ・各種実験装置等の高〜超高真空排気用メインポンプとして

■特長

・監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。 ・カップリングフリーシステムの搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能。 ・スピードバリアブルシステム搭載。排気速度を25%〜100%の範囲で可変。 ・優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能。 (FWシリーズ) ・破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。 ・CE対応

  • シリーズ

    デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ-品番-UTM-3301FW

UTM-3301FW

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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