コントローラ一体型ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。■各種装置の真空主排気系
・半導体製造装置 ・蒸着装置 ・スパッタリング装置 ・分析装置 ・実験装置など ・研究開発設備■用途
・副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系 ・油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え ・その他、高真空排気用途全般■ポンプ本体とコントローラが一体
ポンプ本体とコントローラ間の面倒な配線引回し作業が不要です。■自由な取付方向
取付方向に制限が無い為、装置設計の自由度が広がります。■ポンプ回転数を25～100%の範囲で可変
回転数を可変させることができ、チャンバーの圧力調整ができます。■高い耐久性と安全性
大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています■特徴
・排気速度1000L/s～4000L/sクラスをラインナップ。 ・ライトプロセス向けの広域大流量設計-
シリーズ
コントローラ一体型ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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コントローラ一体型ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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UTM-MIシリーズ |
要見積もり |
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