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コントローラ一体型ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-UTM-MIシリーズ
コントローラ一体型ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-アルバック販売株式会社

コントローラ一体型ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ
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この製品について

■概要

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

■各種装置の真空主排気系

・半導体製造装置 ・蒸着装置 ・スパッタリング装置 ・分析装置 ・実験装置など ・研究開発設備

■用途

・副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系 ・油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え ・その他、高真空排気用途全般

■ポンプ本体とコントローラが一体

ポンプ本体とコントローラ間の面倒な配線引回し作業が不要です。

■自由な取付方向

取付方向に制限が無い為、装置設計の自由度が広がります。

■ポンプ回転数を25～100%の範囲で可変

回転数を可変させることができ、チャンバーの圧力調整ができます。

■高い耐久性と安全性

大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています

■特徴

・排気速度1000L/s～4000L/sクラスをラインナップ。 ・ライトプロセス向けの広域大流量設計

  • シリーズ

    コントローラ一体型ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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