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小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH-VTR-060M/ERH
小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH-アルバック販売株式会社

小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

■特長

・卓上型のコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。 ・ターボ分子ポンプを搭載しています。 ・スイッチ操作だけで高真空排気が可能です。 ・高い拡張性を有し、多層膜蒸着、基板回転が可能です。 ・低融点金属の蒸着に最適です。

  • シリーズ

    小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH

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小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達圧力 排気時間 真空槽 フィードスルカラー 基板推奨サイズ・最大サイズ※2 基板/電極間距離 蒸発電極構成 蒸発電極 メインポンプ 補助ポンプ オイルミストトラップ メインバルブ 補助バルブ 自動リークバルブ 操作 膜厚計 最大寸法 (mm) 質量 (kg) 最大寸法 (電源) (mm) 質量 (電源) (kg) 所要電気量 (本体) 所要電気量 (電源) 取り合い (本体) 取り合い (電源)
小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH-品番-VTR-060M/ERH

VTR-060M/ERH

要見積もり

10-4

4.0×10-3Pa/20min

円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm)

7ポート (底面)

□50mm ・ □120mm (Max)

Max 200mm

1点式

SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max)

ターボ分子ポンプ 60L/sec

油回転真空ポンプ 20L/min

OMT-050A

オプション (バタフライバルブ)

オプション (三方向バルブ)

オプション

手動

オプション (CRTM-6000G)

428 (W) × 438 (L) × 713 (H)

50

480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H)

24

単相 (100V) (50/60Hz) : 0.6kVA

単相 (100V) (50/60Hz) : 0.8kVA

単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m

単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m

フィルターに該当する他製品

蒸着装置の中で同じ条件の製品
チャンバーサイズ: 250 - 300mm

フィルターから探す

蒸着装置をフィルターから探すことができます

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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