マルチチャンバ仕様 有機EL用蒸着装置-有機EL用蒸着装置
マルチチャンバ仕様 有機EL用蒸着装置-ジャパンクリエイト株式会社

マルチチャンバ仕様 有機EL用蒸着装置 ジャパンクリエイト株式会社


この製品について

■概要

デバイス開発や材料開発に最適なマルチチャンバ仕様の装置です。 前処理から成膜、封止までの工程を大気に触れずに処理することが可能です。 目的に応じて、プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます。

■特徴

・基板サイズは最大300mm対応 ・蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能 ・CVD室、スパッタ室等との組み合わせも対応可

■用途

・有機ELディスプレイ ・有機EL照明

  • シリーズ

    マルチチャンバ仕様 有機EL用蒸着装置



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マルチチャンバ仕様 有機EL用蒸着装置 品番1件

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マルチチャンバ仕様 有機EL用蒸着装置-品番-有機EL用蒸着装置

有機EL用蒸着装置

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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