ライン照明による超高速イメージングを紫外・深紫外まで拡張 紫外・深紫外ラマン顕微鏡 RAMANtouch vioLa
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この製品について
■深紫外線が切り開く新しいラマンイメージング
顕微鏡は常に波長の選択との戦いです。波長によって最適な光学系は変わってきます。ラマン顕微鏡は光源に様々な波長を用いることができますが、これまで全ての波長で性能を維持することが困難でした。それは、光学系に用いるガラスが波長によって異なる特性を示すためです。 特に紫外領域 (波長が400nmよりも短い光) では、ガラスの特性変化が顕著です。従来のラマン顕微鏡はその性能劣化を甘受してきました。それは紫外領域での観察というメリットが性能劣化のデメリットを上回っていたからです。■RAMANtouch vioLaが備える独自光学系
RAMANtouch vioLaは、紫外領域の観察というメリットのみを享受できます。これまでにない高効率で高い空間分解能での紫外観察は新しいラマンイメージングの世界を切り開きます。 RAMANtouch vioLaに搭載されている光学系の一部を紹介します。通常スキャン光学系では、レンズ対によって光を曲げていますが、RAMANtouch vioLaでは、反射屈折光学系と呼ばれる光学系で、レンズ対の代わりに反射鏡と補正レンズにて光を曲げています。このおかげで、深紫外線でも精度の高いスキャンを行う事ができます。■UV Applications
紫外線での観察はこれまでのラマン観察では得られなかった情報を得ることができます。紫外線は様々な物質で侵入長 (光が届く距離) が短いために、表層のみの情報を得ることができます。また、蛍光の影響を避けた観察が高い空間分解能で実現できたり、ワイドバンドギャップのフォトルミネッセンス (PL) 観察が行えます。■観察事例1：6H-SiCの応力測定
SiCウェハーの表面応力を測定しました。光学顕微鏡像とラマンイメージを比較すると、光学顕微鏡で黒ずんで見える欠陥部分では引っ張り応力が生じており、反対に欠陥同士の間では圧縮応力が生じていることが分かります。325nmの波長ではSiCの最表面のみを観察することができました。観察には789cm-1のラマンシフトのピークを用いました。このピークは6H-SiCのFTO (2/6) E2に該当します。-
シリーズ
ライン照明による超高速イメージングを紫外・深紫外まで拡張 紫外・深紫外ラマン顕微鏡 RAMANtouch vioLa
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ライン照明による超高速イメージングを紫外・深紫外まで拡張 紫外・深紫外ラマン顕微鏡 RAMANtouch vioLa 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | レーザー波長 | レーザー照射方式 | 分光器の焦点距離 | グレーティング | 検出器 | オプション |
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RAMANtouch vioLa |
要見積もり | 257nm、266nm、325nm、355nm、405nm、457nm、488nm、532nmほか | ポイント照明 ／ ライン照明 | 550mm | 300、600、1,200、2,400、3,600 g/mm | 電子冷却CCD 1,340 × 400画素、ほか |
・ピンホール測定 ・高精度ピークシフト測定機能 ・冷却加熱ステージ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
