精密スピンコーター ACE-200
ハイソル株式会社

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この製品について

主力製品である精密スピンコーターは、全世界で広く取り扱われており、大学を中心とした様々な分野の研究機関に対して約6000台以上の納入実績があります。

ACE-200 / TOP-8は、ステップ別の進行状況を実時間グラフにして表示する「グラフィック・ファンクション」 (特許) を標準搭載しており、高速・高精度に塗膜を形成することができる安価で手軽なスピンコーターです。

■装置概要・低価格・低騒音・少振動
・ステップ別の進行状況を実時間グラフィックで表示する「グラフィック・ファンクション」 (特許) 
・0または50～8,000R.P.Mまで、スピードを自由に加速・減速することができます (3,000/Secで加速・減速) 
・1プログラムにつき最大100ステップを設定し、100プログラムをメモリー可能
・装置前面のデジタルコントローラにより、誰でも簡単にご使用頂けます
・真空異常、モーターの過負荷時のアラーム機能で安全にご使用頂けます
・RPM設定値と動作時のRPMを比較し、回転精度を常に確認することができます
・スピンコーター専用に開発された強力なモーターと独自のプログラムにより加速時間を最長30秒まで延長できる為、多様な材料を適用することができます
・内部構成はユニット化されている為故障はほとんどなく、万が一故障が発生した場合も修理が簡単です

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
精密スピンコーター ACE-200

取扱企業
ハイソル株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

塗布装置

加工・工作機器

スピンコータ

半導体製造

レジスト塗布装置

加工・工作機器

コーティング装置

加工・工作機器

塗工機

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精密スピンコーター ACE-200 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ウェハサイズ	ボウルサイズ	ボウル材質	ステップ数	プログラム数	スピード	Hold time	精度	加減速	電源	ディスプレイ	システム制御	寸法
	ACE-200	要見積もり	0.2~4インチ	235m/m	SUS	100	100	0 to 50~8,000 rpm	1~999sec	±1 rpm	3,000 rpm/sec	AC 220V/110V, 50/60 Hz	LCD	マイコン制御	W320×D420×H240 mm