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熱式流量計 メタルシールマスフローメータ MODEL 5410シリーズ取扱企業
コフロック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年11月11日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で明快な回答でした
初回対応までの時間への満足度
1.60時間
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流量計の製品644点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | センサ方式 | 対象ガス | フルスケール流量 (N2換算) | 精度 | 再現性 | 入口最大圧 | 耐圧 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | 電気接続 | 流量出力信号 | 所用電源 | 継手 (本体口径) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
5410 |
要見積もり |
熱式巻線センサ |
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 |
10SCCM~20SLM |
±1％F.S. |
±0.2％F.S. |
500kPa (G) |
1MPa (G) |
1×10－11Pa・m3/sec以下 |
0~50℃ |
15~35℃ |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、Ni、PTFE |
D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 100mA |
1/4VCR相当 |
約800g |
