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この製品について

マスフローコントローラ/メータは、メカニカルなフローメータやバルブに比較して、質量流量計測であるため温度や圧力の影響を受けづらく、また、流量を電気信号でやりとりできる特徴があります。精度、再現性、応答性、コストを要求される、半導体、光ファイバー、分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオ、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備等のあらゆるプロセス、装置で用いられています。

■仕様表記

本カタログのマスフローコントローラ/メータの仕様表記については、基本的にSEMI standardに準じています。 以下代表的な仕様の定義を説明します。

■精度

±○%F.S. (フルスケール) という形で表示しています。この値は弊社基準流量計に対する校正基準としたガス (N₂等) での誤差のフルスケール値に対する%値です。従って、例えばフルスケール50SCCMのレンジの場合、精度が±1%であれば、50× (1/100) =±0.5SCCMの「不確かさ」で弊社基準流量に対して保証されるという事になります。 一方、±○%S.P. (セットポイント) という形で表記する場合もございます。この場合は設定した流量値に対する%値になります。

■再現性

指定の動作条件で指定の期間に渡り、上下両方向から設定したある設定値において、繰り返された設定値が近似する度合いのことです。

■応答性

流量ゼロから制御を開始し、マスフローコントローラの出力がフルスケール98%に安定する時間で示しています。100%は、漸近線状の場合、解析しづらい為、通常この様に表記します。 仕様表の流量、応答性、精度、動作差圧等の項目については、N₂またはAirでの仕様となりますことをご了承ください。 ※他にも品番がございます。

  • シリーズ

    流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ

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流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ 品番10件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 品名 センサ方式 バルブ方式 フルスケール流量 (N2換算) 制御範囲 応答性 精度 再現性 動作差圧 入口最大圧 耐圧 PI機能 Heリークレート 許容周囲温度 精度保証温度 許容保存温度 許容周囲湿度 接ガス部材質 デジタルインターフェース 所要電源 継手・面間寸法 重量 対象ガス 電気接続 流量出力信号 イベント出力 デジタル通信 表示器 継手 (本体口径) 流量設定信号 温度係数
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL ST-500 SERIES

MODEL ST-500 SERIES

要見積もり PIマスフローコントローラ 熱式巻線センサ 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) 100SCCM~10SLM
30SLM
2~100%F.S. 1sec以内 ±1%S.P. (10~100%F.S.)
±0.1%F.S. (2~10%F.S.)
±0.2%F.S. 50~300kPa
200~300kPa
300kPa (G) 1MPa (G) Overshoot ±2%F.S. 1×10-11Pa・m3/sec以下 5~50℃ 15~40℃ 0~60℃ 0~80%RH (結露なきこと) SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni DeviceNet M12 (Male) 5pin 11~25VDC (5VA max) 1.125”Wシール 92mm
1/4”VCR相当
約1,000g - - - - - - - - -
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-EXE-FLOW™ MODEL EX-700R SERIES

EXE-FLOW™ MODEL EX-700R SERIES

要見積もり 表示器付デジタルマスフローメータ 熱式巻線センサ - 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM - - ±1%F.S.
±1.5%F.S.
±0.2%F.S. - 500kPa (G) 1mPa (G) - - 5~50℃ 15~35℃ -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、SUS316、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) - 24DC (±10%) 100mA以下 - 約600g (バルブ含まず) N₂ (Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄/C.F.切替) D-sub9ピン 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下)
0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上)
1~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上)
NPNオープンコレクタ2点 (最大定格30VDC 50mA) RS485 (MODBUSプロトコル、RTUモード) 4桁7セグメントLED 標準:1/4SWL
オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18 UNF)
- -
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL EX-250S SERIES

MODEL EX-250S SERIES

要見積もり 小型デジタルマスフローコントローラ/メータ 熱式巻線センサ 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) 5SCCM~10SLM 2~100%F.S. 全流量範囲 1sec以内 (within±2%F.S.)
(F.S.5SCCMのみ2sec以内)
(L:50~149kPa H:150~300kPa)
±1%F.S. ±0.2%F.S. F.S.<10SLM 50~300kPa (Ar CO2:100~300kPa)
F.S.10SLM 100~350kPa (Ar CO2:150~300kPa)
500kPa (G) 1MPa (G) - 1×10-8Pa・m3/sec以下 5~50℃ 15~35℃ -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、 PTFE、FKM (オプション NBR or CR) - +15VDC (±5%) 100mA以下
-15VDC (±5%) 150mA以下
or 24VDC (±10%) 300mA以下
- 約500g N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 D-sub9ピン
RJ45コネクタ×2
0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下)
or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω)
NPNオープンコレクタ1点 (最大定格30VDC 50mA) (電源24VDC仕様のみ) RS485 - 標準:1/4SWL     
オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF)
0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) -
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL EX-550 SERIES

MODEL EX-550 SERIES

要見積もり メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ 熱式巻線センサ 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) 10SCCM~5SLM 2~100%F.S. 全流量範囲 1sec以内 (within±2%F.S.)
(L:50~149kPa H:150~300kPa)
±1%S.P. (25~100%F.S.)
±0.25%F.S. (~25%F.S.)
±0.2%F.S. 50~300kPa (Ar CO2:100~300kPa) 350kPa (G) 1MPa (G) - 1×10-11Pa・m3/sec以下 5~50℃ 15~35℃ -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、磁性ステンレス、PTFE - +15VDC (±5%) 100mA以下 -15VDC (±5%) 150mA以下 or 24VDC (±10%) 180mA以下 - 約800g N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 D-sub9ピン HR-10A×2 0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) - RS485 - 1/4VCR相当 0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) -
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL 8700 SERIES

MODEL 8700 SERIES

要見積もり 表示器付マスフローコントローラ/メータ 熱式巻線センサ 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) 10SCCM~20SLM 2~100%F.S. 2sec以内 (within±2%F.S.) ±1%F.S. (25℃) ±0.5%F.S. F.S.≦5SLM 50~300kPa F.S.>5SLM 100~300kPa 500kPa (G) 1MPa (G) - 1×10-8Pa・m3/sec以下 5~45℃ - -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316、SUS316L、磁性ステンレス (MFCのみ) 、FKM (オプション NBR or CR) - 24VDC (±10%) 300mA以下 - 約1,200g N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 D-subハーフピッチ20ピン ヒロセ電機DX10M-20S 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) /4~20mA (負荷抵抗300Ω以下) - RS485 4桁7セグメントLED 標準:Rc1/4 オプション:1/4SWL、1/8SWL、1/4VCR (9/16-18UNF) 0~5VDC (入力インピーダンス100kΩ以上) /4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) ±0.1%F.S./℃ (15~35℃)
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL 3660 SERIES

MODEL 3660 SERIES

要見積もり スタンダードマスフローコントローラ 熱式巻線センサ 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) 10SCCM~20SLM 2~100%F.S. 2sec以内 (within±2%F.S.) ±1%F.S. (25℃) ±0.5%F.S F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.>5SLM 100~300kPa 500kPa (G) 1MPa (G) - 1×10-8Pa・m3/sec以下 5~45℃ - -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM (オプション NBR or CR) - +15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 250mA - 約1,000g N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) - - - 標準:1/4SWL、オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) 0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) ±0.1%F.S./℃ (15~35℃)
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL 3760 SERIES

MODEL 3760 SERIES

要見積もり スタンダードマスフローメータ 熱式巻線センサ - 10SCCM~20SLM - - ±1%F.S. (25℃) ±0.5%F.S. (20℃) - 500kPa (G) 1MPa (G) - 1×10-8Pa・m3/sec以下 5~45℃ - -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、FKM (オプション NBR or CR) - +15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 100mA - 約800g N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) - - - 標準:1/4SWL、オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) - ±0.1%F.S./℃ (15~35℃)
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL 3200 SERIES

MODEL 3200 SERIES

要見積もり ハイグレードマスフローコントローラ 熱式巻線センサ 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) 1SCCM~20SLM 2~100%F.S. 1sec以内 (within±2%F.S.) ±1%F.S. ±0.2%F.S. F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.>5SLM 100~300kPa 300kPa (G) 1MPa (G) - 1×10-8Pa・m3/sec以下 0~50℃ 15~35℃ -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) - +15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 200mA - 約1,000g N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) - - - 標準:1/4SWL、オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) 0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) -
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL 3100 SERIES

MODEL 3100 SERIES

要見積もり ハイグレード マスフローメータ 熱式巻線センサ - 1SCCM~20SLM - - ±1%F.S. ±0.2%F.S. - 500kPa (G) 1MPa (G) - 1×10-8Pa・m3/sec以下 0~50℃ 15~35℃ -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) - +15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 100mA - 約800g N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) - - - 標準:1/4SWL、オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) - -
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ-品番-MODEL 5100 SERIES

MODEL 5100 SERIES

要見積もり メタルシールマスフローコントローラ 熱式巻線センサ 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) 1SCCM~20SLM 2~100%F.S. 1sec以内 (within±2%F.S.) ±1%F.S. ±0.2%F.S. F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.>5SLM 100~300kPa 300kPa (G) 1MPa (G) - 1×10-11Pa・m3/sec以下 0~50℃ 15~35℃ -10~60℃ 10~90%RH (結露なきこと) SUS316L、Ni、PTFE、Au - +15VDC (±5%) 100mA、-15VDC (±5%) 200mA - 約1,000g N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) - - - 1/4VCR相当 0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) -

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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コフロック株式会社は、1949年創業の流体計測制御機器/ガス発生装置メーカーです。
本社を京都府京田辺市に置き、国内には東京メインオフィスや大阪オフィス、名古屋オフィス、九州出張所などの営業拠点を設けています。<...

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