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シリーズ
ロールtoロールウエットプロセス装置取扱企業
進和工業株式会社カテゴリ
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FPD露光装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 製品 Roll 規格 | 製品 Roll 幅 | 製品重量 | 製品 Roll 製品固定方法 | 保護 Film Roll 規格 | 保護 Film Roll 幅 | 保護 Film Roll 重量 | 保護 Film Roll 製品固定方法 | 処理速度 | 処理面 | 搬送方式 | 巻出部 張力制御 | 巻出部 標準張力 | 巻出部 接続 Table | 巻出部 アキュムレータ | 巻出部 耳端制御 (EPC) | 巻出部 除電対策 | 巻取部 張力制御 | 標巻取部 標準張力 | 巻取部 接続 Table | 巻取部 アキュムレータ | 巻取部 耳端制御 (EPC) | 巻取部 除電対策 | 現像 | 現像条件 | 水洗 | 液切乾燥 | Metal & ITO 蝕刻 | 蝕刻条件 | Photoresist 剥離 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
ロールtoロールウエットプロセス装置 |
要見積もり |
軸芯 3" Max. 250M |
Max. 500 mm |
Max. 30 kg |
片持式 Air-Shaft |
軸芯 3" Max. 500M |
Max. 500 mm |
Max. 30 kg |
片持式 Air-Shaft |
Standard 2.0 m /min.Variable 0.5 ~ 3.5 m / min. |
上面 Patterning |
水平型 Roller 搬送式 |
ダンサーロール Weight 式 |
500 mm 幅 50~70N 50~70 N ( W = 500 mm) |
真空吸着式 又は CLAMP 式 |
無し |
無し |
除電 Bar 設置 (上下) |
ダンサーロール Weight 式 |
500 mm 幅 50 ~ 70N 50 ~ 70 N ( W = 500 mm) |
無し |
無し |
有 |
除電 Bar 設置 (上下) |
揺動式 Spray |
Alkaline Std. 30 ℃ |
循環 Spray 2段 + 純水洗 |
Air-Knife & Squeeze Roller Hot Air Circulation ~ 80℃ |
揺動式 Spray |
Acid Max. 45 ℃ Chemicals : FeCl3-HNO3 etc. |
Spray |
FPD露光装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ露光方式
マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型光源種類
水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型解像方式
接触露光型 近接露光型 投影露光型搬送方式
ステージ移動型 ロール搬送型対応サイズ
大型基板対応型 中小型基板対応型最小露光線幅 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20光源波長 nm
200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 500 500 - 1,100露光領域 mm
0 - 50 50 - 150 150 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,100対物レンズ倍率 倍
0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 100 100 - 150露光時間ショットあたり 秒
0 - 5 5 - 10 10 - 15消費電力 kW
0 - 3 3 - 6返答率
100.0%
返答時間
31.5時間