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単軸、多軸のモーションステージをご提供 標準ステージ-株式会社工苑

単軸、多軸のモーションステージをご提供 標準ステージ
株式会社工苑



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この製品について

ナノモーションの標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。 標準ステージは、HRモータ (ナノモーション製超音波モータ) で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケットを使用して簡単にマウントすることができます。すべての軸には、精密な位置決めを可能とする高い剛性と光学式エンコーダを備えた精密クロスローラベアリングを使用しています。 標準的な大気圧モデル、ISOクラス3のクリーンルーム対応モデル、真空モデルを提供しています。また、標準的なステージ構成に適さないアプリケーションについてはカスタム対応致します。

  • シリーズ

    単軸、多軸のモーションステージをご提供 標準ステージ

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単軸、多軸のモーションステージをご提供 標準ステージ 品番5件

フィルター

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) ステージプレート素材 ベアリングタイプ エンコーダ ケーブル⾧ MTBF (平均故障時間) RoHS 真空対応オプション
単軸、多軸のモーションステージをご提供 標準ステージ-品番-FBZ085010

FBZ085010

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アルミニウム-黒アルマイト

HR8モータ (ピエゾ超音波定在波モータ)

精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付

ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ

3m

30,000Hr

1300g

310g

適合

高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで
超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで

10mm

標準 10nm

標準 0.1μm

標準 3μm

ACモード100nm
UHRモード5nm
DCモード<1nm

50mm /秒

±2μm

±30μrad

- -

160N

57N / μm

- -

5kg

150N

フィルターに該当する他製品

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耐荷重: 100 - 500N

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移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

分解能nm nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能μrad μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 神奈川県

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