単軸、多軸のモーションステージをご提供標準ステージ
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この製品について

ナノモーションの標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。

標準ステージは、HRモータ (ナノモーション製超音波モータ) で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケットを使用して簡単にマウントすることができます。すべての軸には、精密な位置決めを可能とする高い剛性と光学式エンコーダを備えた精密クロスローラベアリングを使用しています。

標準的な大気圧モデル、ISOクラス3のクリーンルーム対応モデル、真空モデルを提供しています。また、標準的なステージ構成に適さないアプリケーションについてはカスタム対応致します。

型番
この商品には5種類の型番があります

シリーズ
単軸、多軸のモーションステージをご提供標準ステージ

取扱企業
株式会社工苑

カテゴリ

ステージ

位置決めステージ

ステージ

2軸ステージ

ステージ

1軸ステージ

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	商品画像	品番	価格 (税抜)	ステージプレート素材	モータ HR8モータ HR2モータ HR4モータ HR8モータ (ピエゾ超音波定在波モータ)	ベアリングタイプ	エンコーダ	ケーブル⾧	MTBF (平均故障時間)	ステージ質量 1,811g 581g 773g 842g 1300g	可動質量 710g 268g 461g 423g 310g	RoHS	真空対応オプション	移動範囲 (mm) 100mm nx 360 ±10° ±10 10mm	エンコーダー分解能標準 100nm オプション 10nm 標準 5arc sec. オプション 0.5arc sec. 標準 0.171arc sec. オプション 0.0171arc sec. 標準 0.134arc sec. オプション 0.0134arc sec. 標準 10nm	双方向繰り返し精度標準 1μm オプション 100nm 標準 50arc sec. オプション 5arc sec. 標準 2arc sec. オプション 0.2arc sec. 標準 0.1μm	絶対精度 (誤差マップ提供可) 標準 10μm オプション 7μm 標準 10arc sec. オプション 5arc sec. 標準 3μm	各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存) ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm ACモード0.165arc sec. UHRモード0.0082arc sec. DCモード0.000165arc sec. ACモード0.128arc sec. UHRモード0.0064arc sec. DCモード0.000129arc sec.	最大速度最大速度250mm /秒 8.3rad sec. 100deg/sec 85deg/sec 50mm /秒	真直度と平坦度 ±4μm ±5μm ±2μm	ピッチ＆ヨー ±50μrad ±30μrad	許容荷重-水平 2.7kg	許容荷重-垂直 0.4kg	動的失速力 32N 0.96Nm 2,040Nm 2,600Nm 160N	剛性 3N / μm 0.0032 (Nm / μrad) 0.045 N m / μrad 0.074 N m / μrad 57N / μm	可動慣性質量 0.102gr-m²	負荷慣性容量 0.0035kg.m² 0.0512kg.m² 0.083kg.m²	許容荷重 2kg 3kg 5kg	静的保持力 1836Nm 2340Nm 150N
		FGS013S125	要見積もり	アルミニウム-黒アルマイト	HR4モータ	精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付	ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ	3m	30,000Hr	773g	461g	適合	高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで	±10°	標準 0.171arc sec. オプション 0.0171arc sec.	標準 2arc sec. オプション 0.2arc sec.	-	ACモード0.165arc sec. UHRモード0.0082arc sec. DCモード0.000165arc sec.	100deg/sec	-	-	-	-	2,040Nm	0.045 N m / μrad	-	0.0512kg.m²	3kg	1836Nm