単軸、多軸のモーションステージをご提供標準ステージ

単軸、多軸のモーションステージをご提供標準ステージ品番5件

フィルター

品番	価格 (税抜)	ステージプレート素材	モータ HR8モータ HR2モータ HR4モータ HR8モータ (ピエゾ超音波定在波モータ)	ベアリングタイプ	エンコーダ	ケーブル⾧	MTBF (平均故障時間)	ステージ質量 1,811g 581g 773g 842g 1300g	可動質量 710g 268g 461g 423g 310g	RoHS	真空対応オプション	移動範囲 (mm) 100mm nx 360 ±10° ±10 10mm	エンコーダー分解能標準 100nm オプション 10nm 標準 5arc sec. オプション 0.5arc sec. 標準 0.171arc sec. オプション 0.0171arc sec. 標準 0.134arc sec. オプション 0.0134arc sec. 標準 10nm	双方向繰り返し精度標準 1μm オプション 100nm 標準 50arc sec. オプション 5arc sec. 標準 2arc sec. オプション 0.2arc sec. 標準 0.1μm	絶対精度 (誤差マップ提供可) 標準 10μm オプション 7μm 標準 10arc sec. オプション 5arc sec. 標準 3μm	各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存) ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm ACモード0.165arc sec. UHRモード0.0082arc sec. DCモード0.000165arc sec. ACモード0.128arc sec. UHRモード0.0064arc sec. DCモード0.000129arc sec.	最大速度最大速度250mm /秒 8.3rad sec. 100deg/sec 85deg/sec 50mm /秒	真直度と平坦度 ±4μm ±5μm ±2μm	ピッチ＆ヨー ±50μrad ±30μrad	許容荷重-水平 2.7kg	許容荷重-垂直 0.4kg	動的失速力 32N 0.96Nm 2,040Nm 2,600Nm 160N	剛性 3N / μm 0.0032 (Nm / μrad) 0.045 N m / μrad 0.074 N m / μrad 57N / μm	可動慣性質量 0.102gr-m²	負荷慣性容量 0.0035kg.m² 0.0512kg.m² 0.083kg.m²	許容荷重 2kg 3kg 5kg	静的保持力 1836Nm 2340Nm 150N
FBS100100	要見積もり	アルミニウム-黒アルマイト	HR8モータ	精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付	ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ	3m	30,000Hr	1,811g	710g	適合	高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで	100mm	標準 100nm オプション 10nm	標準 1μm オプション 100nm	標準 10μm オプション 7μm	ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm	最大速度250mm /秒	±4μm	±50μrad	2.7kg	0.4kg	32N	3N / μm	-	-	-	-
FRS060360	要見積もり	アルミニウム-黒アルマイト	HR2モータ	精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付	ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ	3m	30,000Hr	581g	268g	適合	高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで	nx 360	標準 5arc sec. オプション 0.5arc sec.	標準 50arc sec. オプション 5arc sec.	標準 10arc sec. オプション 5arc sec.	-	8.3rad sec.	±5μm	-	-	-	0.96Nm	0.0032 (Nm / μrad)	0.102gr-m²	0.0035kg.m²	2kg	-
FGS013S125	要見積もり	アルミニウム-黒アルマイト	HR4モータ	精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付	ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ	3m	30,000Hr	773g	461g	適合	高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで	±10°	標準 0.171arc sec. オプション 0.0171arc sec.	標準 2arc sec. オプション 0.2arc sec.	-	ACモード0.165arc sec. UHRモード0.0082arc sec. DCモード0.000165arc sec.	100deg/sec	-	-	-	-	2,040Nm	0.045 N m / μrad	-	0.0512kg.m²	3kg	1836Nm
FGS013S160	要見積もり	アルミニウム-黒アルマイト	HR4モータ	精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付	ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ	3m	30,000Hr	842g	423g	適合	高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで	±10	標準 0.134arc sec. オプション 0.0134arc sec.	標準 2arc sec. オプション 0.2arc sec.	-	ACモード0.128arc sec. UHRモード0.0064arc sec. DCモード0.000129arc sec.	85deg/sec	-	-	-	-	2,600Nm	0.074 N m / μrad	-	0.083kg.m²	3kg	2340Nm
FBZ085010	要見積もり	アルミニウム-黒アルマイト	HR8モータ (ピエゾ超音波定在波モータ)	精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付	ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ	3m	30,000Hr	1300g	310g	適合	高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで	10mm	標準 10nm	標準 0.1μm	標準 3μm	ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm	50mm /秒	±2μm	±30μrad	-	-	160N	57N / μm	-	-	5kg	150N