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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ステージプレート素材 | モータ | ベアリングタイプ | エンコーダ | ケーブル⾧ | MTBF (平均故障時間) | ステージ質量 | 可動質量 | RoHS | 真空対応オプション | 移動範囲 (mm) | エンコーダー分解能 | 双方向繰り返し精度 | 絶対精度 (誤差マップ提供可) | 各モードの最小送り量 (エンコーダと制御に依存) | 最大速度 | 真直度と平坦度 | ピッチ＆ヨー | 許容荷重-水平 | 許容荷重-垂直 | 動的失速力 | 剛性 | 可動慣性質量 | 負荷慣性容量 | 許容荷重 | 静的保持力 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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FBS100100 |
要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR8モータ | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 1,811g | 710g | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
100mm |
標準 100nm オプション 10nm |
標準 1μm オプション 100nm |
標準 10μm オプション 7μm |
ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm |
最大速度250mm /秒 | ±4μm | ±50μrad | 2.7kg | 0.4kg | 32N | 3N / μm | - | - | - | - | |
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FRS060360 |
要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR2モータ | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 581g | 268g | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
nx 360 |
標準 5arc sec. オプション 0.5arc sec. |
標準 50arc sec. オプション 5arc sec. |
標準 10arc sec. オプション 5arc sec. |
- | 8.3rad sec. | ±5μm | - | - | - | 0.96Nm | 0.0032 (Nm / μrad) | 0.102gr-m² | 0.0035kg.m² | 2kg | - | |
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FGS013S125 |
要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR4モータ | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 773g | 461g | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
±10° |
標準 0.171arc sec. オプション 0.0171arc sec. |
標準 2arc sec. オプション 0.2arc sec. |
- |
ACモード0.165arc sec. UHRモード0.0082arc sec. DCモード0.000165arc sec. |
100deg/sec | - | - | - | - | 2,040Nm | 0.045 N m / μrad | - | 0.0512kg.m² | 3kg | 1836Nm | |
|
|
FGS013S160 |
要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR4モータ | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 842g | 423g | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
±10 |
標準 0.134arc sec. オプション 0.0134arc sec. |
標準 2arc sec. オプション 0.2arc sec. |
- |
ACモード0.128arc sec. UHRモード0.0064arc sec. DCモード0.000129arc sec. |
85deg/sec | - | - | - | - | 2,600Nm | 0.074 N m / μrad | - | 0.083kg.m² | 3kg | 2340Nm | |
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FBZ085010 |
要見積もり | アルミニウム-黒アルマイト | HR8モータ (ピエゾ超音波定在波モータ) | 精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 | ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ | 3m | 30,000Hr | 1300g | 310g | 適合 |
高真空 (HV) 1.4×10-5Pa (10-7 Torr) まで 超高真空 (UHV) 1.4×10-8Pa (10-10 Torr) まで |
10mm | 標準 10nm | 標準 0.1μm | 標準 3μm |
ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm |
50mm /秒 | ±2μm | ±30μrad | - | - | 160N | 57N / μm | - | - | 5kg | 150N |
