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自由度が高く高精度なヘキサホッドステージ SmarPod取扱企業
株式会社フィジックステクノロジーカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 移動距離 | 耐荷重 | 外形 | 重量 | 分解能 (Closed loop時) | 繰返し精度 (Closed loop時) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SmarPod CLS-32 |
要見積もり |
X=20mm、Y=20mm、Z=11mm、θx=22°、θy=25°、θz=38° |
垂直：5N、水平：2.5N |
φ124x54mm |
520g |
1nm、3μrad |
±50nm |
